3月26日，在SEMICON China 2025展會上，北方華創(chuàng)(Naura)正式宣布進(jìn)軍離子注入設(shè)備市場，并重磅推出首款離子注入機Sirius MC 313。這一戰(zhàn)略舉措標(biāo)志著公司在半導(dǎo)體核心裝備領(lǐng)域完成關(guān)鍵布局，為國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在高端市場的突破注入新動能。

作為芯片制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，離子注入設(shè)備雖不如光刻機備受矚目，卻在半導(dǎo)體制造中扮演著不可或缺的角色。該設(shè)備通過將特定元素的帶電離子以精確控制的能量注入半導(dǎo)體材料，實現(xiàn)對材料電學(xué)性能的精準(zhǔn)調(diào)控。其技術(shù)流程包括離子源生成、電場加速、精確注入等關(guān)鍵步驟，工藝復(fù)雜度高，技術(shù)壁壘顯著。

據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）數(shù)據(jù)，2024年全球離子注入設(shè)備市場規(guī)模已達(dá)276億元，預(yù)計2030年將增長至307億元，年復(fù)合增長率2.1%；其中，國內(nèi)市場空間約160億元，國產(chǎn)替代潛力巨大。

北方華創(chuàng)此次突破，不僅填補了國內(nèi)高端離子注入設(shè)備空白，更有望打破國際巨頭長期壟斷的市場格局。隨著Sirius MC 313的推出，公司將成為全球少數(shù)具備離子注入設(shè)備量產(chǎn)能力的供應(yīng)商之一，為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控提供重要支撐。

行業(yè)專家指出，在半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化浪潮下，北方華創(chuàng)的此次布局將顯著提升我國在關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域的自主創(chuàng)新能力，為下游芯片制造企業(yè)提供更多元化的設(shè)備選擇，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向高端化邁進(jìn)。