2024年11月18-21日，第十屆國際第三代半導(dǎo)體論壇（IFWS2024）&第二十一屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇（SSLCHINA2024）、先進半導(dǎo)體技術(shù)應(yīng)用創(chuàng)新展（CASTAS）將在蘇州國際博覽中心G館舉辦。

連科半導(dǎo)體有限公司將亮相此次展會。誠摯邀請第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)同仁共聚論壇，蒞臨B14號展位參觀交流、洽談合作。

公司簡介

連科半導(dǎo)體有限公司是大連連城數(shù)控機器股份有限公司旗下子公司。核心產(chǎn)品沿著第一代到第三代半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展路線，覆蓋硅基半導(dǎo)體、碳化硅、藍(lán)寶石、重?fù)桨雽?dǎo)體材料（母合金）等晶體生長專用設(shè)備，以及碳化硅外延設(shè)備；在半導(dǎo)體加工設(shè)備領(lǐng)域覆蓋截斷、開方、滾磨、切片、拋光等核心晶體加工專用設(shè)備。

展品簡介

 

8吋碳化硅感應(yīng)式長晶爐

1.通過實驗不斷優(yōu)熱場結(jié)構(gòu)設(shè)計，使得溫度梯度更加均勻，減少局部傳統(tǒng)熱場局部高溫、碳化等問題。

2.整體式線圈設(shè)計，降低噪音，功耗降低;

3.一鍵式智能啟動，自動化程度高;一體式設(shè)計，減少占地面積。

8吋碳化硅電阻式長晶爐

1.成熟的熱場設(shè)計：軸徑分離，有利于缺陷控制；良好的徑向溫場，可實現(xiàn)低應(yīng)力，低裂損，晶體厚度可達20-30mm；

2.工藝適配性：可配備多個加熱器并獨立控制，便于調(diào)整溫度梯度；

3.智能化：一鍵啟動、可集中監(jiān)控，人員需求少，可根據(jù)客戶需求，定制長晶環(huán)節(jié)自動化生產(chǎn)線；

4.其他優(yōu)勢：上下料方便拆卸，熱場使用壽命長，坩堝提拉穩(wěn)定性好，電源抗干擾，穩(wěn)定性強。

  

30KG/60KG粉料合成爐

1.單爐產(chǎn)量大，運行周期短，能耗低；

2.完全滿足6N以上高純度粉料要求；

3.一鍵智能啟動，減少人工干預(yù)，利于規(guī)模化生產(chǎn);

4.緊湊立體化整機設(shè)計，方便布局，提高廠房利用率。

碳化硅液相電阻爐

1.控制智能化：可導(dǎo)入多種預(yù)設(shè)長晶方式，根據(jù)使用需求進行一鍵切換；

2.工藝適配性好：可配備雙加熱器并獨立控制，便于調(diào)整溫度梯度；

3.運行穩(wěn)定性強：水冷坩堝軸籽晶軸旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)；氣壓溫度閉環(huán)控制，控制精度高；

4.其他優(yōu)勢：熱場安裝方便，籽晶液面接觸檢測，液面位置視覺檢測。

 無錫連強智能裝備有限公司

碳化硅金剛線截斷機 

1.設(shè)備可以使用30m/s的高線速度穩(wěn)定切割,切割效率高,產(chǎn)出比高；

2.設(shè)備可以選擇旋轉(zhuǎn)、料搖擺加工方式,更好的實現(xiàn)工藝的多種需求;

3.設(shè)備的加工精度高,截斷樣片的TTV均值30um以內(nèi),遠(yuǎn)超同行業(yè)水平;

4.設(shè)備可以穩(wěn)定使用0.18mm金剛線,張力控制精準(zhǔn),細(xì)線化在料損上控制非常優(yōu)秀;

5.設(shè)備使用匯川控制器,配置高精度伺服電機13個;

金鋼線截斷機加工的6英寸碳化硅片；

6.收放線系統(tǒng)排布在設(shè)備左右兩側(cè),有效降低振動產(chǎn)生的影響,大幅度提升加工精度;

7.內(nèi)防護全部采用不銹鋼材料;床身采用鑄鐵材料,剛性好,精度穩(wěn)定;

8.具備掏棒功能,大尺寸改小尺寸;

9.取樣片后可以直接進行減薄,表征晶體簡單快捷；

 

碳化硅切片機

1.機床底座、主軸箱支座、垂直進給立柱、進給滑臺均為一體鑄造結(jié)構(gòu)，采用高精度機床加工，設(shè)備結(jié)構(gòu)穩(wěn)定;

2.主軸采用進口NSK軸承，軸箱結(jié)構(gòu)自主研發(fā)、裝配，精度高于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn);

3.采用進口德國西門子運動控制系統(tǒng)及電機，保證長時間穩(wěn)定運行;

夾具采用可擺動機構(gòu)，保證加工時工件進行擺動式切削，切削受力均勻:4、

5.主軸冷卻采用獨立水箱，實現(xiàn)大流量控制方式，解決軸箱內(nèi)部結(jié)露問題;

6.自動化配套設(shè)計可實現(xiàn)單機一鍵提料、一鍵自動對刀等功能;

7.TTV、WARP、BOW、表面線痕、崩邊、斷線率等指標(biāo)控制優(yōu)良;

8.晶托采用專利T形槽定位，保證加工晶向的準(zhǔn)確性;

9.自主研發(fā)的專利軟件控制系統(tǒng)，張力控制精準(zhǔn)。

半導(dǎo)體切片機

1.張力傳感器控制精度為士0.5N控制精度更高;

2.輔助漿管專利技術(shù)，主、副流量單獨可控;

3.低慣量輕質(zhì)一體過輪，為總成結(jié)構(gòu)更換方便;

4.系統(tǒng)采用德國進口西門子運動控制系統(tǒng)及電機;

5.硅片表面質(zhì)量TTV、線痕、翹曲等指標(biāo)控制優(yōu)良;

6.滿足自動粘棒設(shè)備的晶托兼容，底面采用NTC形式;

7.設(shè)備專為半導(dǎo)體晶圓加工設(shè)計制造，非光伏改造機;

8.前端上料方式，操作方便，具備升級自動化上料條件;

9.張力臂重量及懸長小，排線角度接近90°利于排線控制;

10.垂直進給采用鑄件低入刀口切片TTV;

11.收放線系統(tǒng)位于設(shè)備兩側(cè)，安裝在一體鑄造底座上，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定:

12.主軸采用角接觸軸承及油氣潤滑結(jié)構(gòu)，冷卻采用單獨水箱供水;

13.設(shè)備底座、主軸箱支座、排線、收放線支座均為一體鑄造結(jié)構(gòu);

切割輥；

  

金剛線截斷機

1上料車人工推至機械手上料工位,進行掃碼,機械手將硅棒輸送至截斷機上料工作臺;

2.設(shè)備根據(jù)設(shè)定的截斷長度,上料輸送臺將硅棒移動到加工位置進行加工;

3龍門式切割頭進行去頭尾截斷和不同段長的截斷;

4BL0CK自動推送至下料工位,進行長度測量和激光打碼后,機械手將其抓取到下料車;

5設(shè)備配置自有專利技術(shù)的機器人吸盤結(jié)構(gòu)自動取樣片,樣片自動吹干后進行激光打碼,送入接片盒;

6重復(fù)前序2-3-4-5的截斷和取樣片工作。

參會聯(lián)系