近日，南京埃米儀器科技有限公司宣布完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資，由博將資本領(lǐng)投。此次融資將主要用于提升公司在先進(jìn)半導(dǎo)體制程用高精密量測設(shè)備的國產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品種類，并加大市場開拓力度。

埃米儀器成立于2022年，專注于國內(nèi)精密3D量測設(shè)備的國產(chǎn)化和核心技術(shù)的攻克。公司的產(chǎn)品主要應(yīng)用于芯片制程中的微結(jié)構(gòu)量測和缺陷檢測，旨在解決相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)難題。目前，埃米儀器的產(chǎn)品和技術(shù)已獲得國內(nèi)領(lǐng)先芯片制造企業(yè)的認(rèn)可，對推動國內(nèi)先進(jìn)工藝的發(fā)展、提高芯片制造良率、縮短制程研發(fā)周期具有重要意義。公司創(chuàng)始人楊見飛博士擁有多年先進(jìn)量測和封裝設(shè)備研發(fā)經(jīng)驗，領(lǐng)導(dǎo)著一支強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊，與南京大學(xué)、山東大學(xué)、南智光電研究院等國內(nèi)外科研院所、機(jī)構(gòu)建立了密切合作關(guān)系。

量測設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備市場中占有重要地位，規(guī)模約占市場份額的15%。量測設(shè)備能夠在生產(chǎn)中監(jiān)測、識別、定位、分析工藝缺陷，對晶圓廠及時發(fā)現(xiàn)問題、改善工藝、提高良率起到至關(guān)重要的作用。隨著集成電路繼續(xù)多層化、復(fù)雜化，量測設(shè)備的重要性日益凸顯。然而，中國半導(dǎo)體量檢測設(shè)備市場被國際廠商高度壟斷，是半導(dǎo)體設(shè)備中除光刻機(jī)外國產(chǎn)化率最低的領(lǐng)域。

原子力顯微鏡（AFM）是目前精度最高的量測設(shè)備之一，也是目前唯一能集檢測和修復(fù)為一體的技術(shù)手段。AFM通過一個微小的針尖與樣品表面相互作用，以實現(xiàn)高分辨率的表面成像。埃米儀器已推出多款量測設(shè)備，并持續(xù)推出新型設(shè)備。其在線工業(yè)級原子力顯微鏡已完成某芯片頭部企業(yè)的產(chǎn)品正式交付。技術(shù)方面，埃米儀器通過申請專利構(gòu)筑技術(shù)壁壘，目前公司已得到專利授權(quán)20余項，相關(guān)專利覆蓋原子力顯微鏡和光學(xué)量測設(shè)備，涉及光電器件、精密機(jī)械、定位系統(tǒng)、電氣設(shè)計等。博將資本該項目負(fù)責(zé)人陸元昊表示，量測設(shè)備未來將與光刻設(shè)備并行發(fā)展，發(fā)揮至關(guān)重要的作用，而原子力顯微鏡作為精度最高的量測設(shè)備，在先進(jìn)制程中正在成為量檢測主力設(shè)備。埃米儀器僅成立2年時間便成功研發(fā)出國內(nèi)首臺在線工業(yè)級原子力顯微鏡并已實現(xiàn)在某頭部芯片客戶交付。同時，公司通過推動高通量AFM、混合量測等方式彌補(bǔ)傳統(tǒng)AFM機(jī)臺在量檢測速度的限制，將大大拓寬傳統(tǒng)原子力顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域。