國家知識產權局信息顯示，北京北方華創微電子裝備有限公司申請一項名為“工藝腔室及半導體工藝設備”的專利，公開號 CN 119495543 A，申請日期為2023年8月。
專利摘要顯示，本發明提供一種工藝腔室，包括：腔體、設置于腔體內的隔離組件和射頻線圈，射頻線圈用于激發發生腔的氣體產生等離子體，射頻線圈的兩端包括引出段和引入段，引出段和引入段貫穿腔體并伸至腔體外；第一密封組件，連接于引出段和引入段以及腔體，用于密封引出段和引入段貫穿腔體的位置；第二密封組件，連接于引出段和引入段，用于密封第一密封件與引出段和引入段之間的連接處。本公開不僅利用第一密封組件對封引出段和引入段貫穿腔體的位置進行密封，還利用第二密封組件對第一密封件與引出段和引入段之間的連接處也進行了密封雙重密封提高了在射頻線圈處的密封性。本申請還提供了一種半導體工藝設備。
天眼查資料顯示，北京北方華創微電子裝備有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以從事電氣機械和器材制造業為主的企業。企業注冊資本114153.708311萬人民幣，實繳資本114153.708311萬人民幣。通過天眼查大數據分析，北京北方華創微電子裝備有限公司共對外投資了8家企業，參與招投標項目1007次，知識產權方面有商標信息38條，專利信息5000條，此外企業還擁有行政許可339個。
