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首片晶圓下線!我國(guó)首條光子芯片中試線在無(wú)錫規(guī)模化量產(chǎn)

日期:2025-06-11 閱讀:831
核心提示:無(wú)錫光量子芯片中試平臺(tái)順利下線首片6寸薄膜鈮酸鋰光子芯片晶圓

 據(jù)無(wú)錫濱湖發(fā)布消息,6月5日下午4點(diǎn),無(wú)錫光量子芯片中試平臺(tái)順利下線首片6寸薄膜鈮酸鋰光子芯片晶圓,這是我國(guó)首條光子芯片中試線,同時(shí)超低損耗、超高帶寬的高性能薄膜鈮酸鋰調(diào)制器芯片也實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)。

光量子芯片是光量子計(jì)算的核心硬件載體,其產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程將推動(dòng)我國(guó)在量子信息領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)自主可控,更是搶占全球量子科技競(jìng)爭(zhēng)制高點(diǎn)的戰(zhàn)略支撐。此前,因共性關(guān)鍵工藝技術(shù)平臺(tái)的缺失,我國(guó)光量子技術(shù)面臨“實(shí)驗(yàn)室成果難以量產(chǎn)”的困境,是制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“卡脖子”難題,而無(wú)錫光量子芯片中試平臺(tái)的啟用成為破局關(guān)鍵。

據(jù)悉,上海交大無(wú)錫光子芯片研究院于2022年底破土動(dòng)工,并率先啟動(dòng)國(guó)內(nèi)首條光子芯片中試線建設(shè)。2023年10月,研究院大樓封頂。2024年1月,中試線首批關(guān)鍵設(shè)備入場(chǎng),同年9月,集光子芯片研發(fā)、設(shè)計(jì)、加工和應(yīng)用于一體的無(wú)錫光量子芯片中試平臺(tái)正式啟用。

無(wú)錫光量子芯片中試平臺(tái)負(fù)責(zé)人介紹,“一片直徑6寸的晶圓可以切割出350顆芯片,在濱湖達(dá)產(chǎn)后,無(wú)錫光量子芯片中試平臺(tái)將具備年產(chǎn)1.2萬(wàn)片薄膜鈮酸鋰晶圓的量產(chǎn)能力。”

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