6月16日,萬業企業宣布,旗下凱世通已于6月13日成功向首個通過投標贏得采購訂單的傳感器行業新客戶交付了首臺低能大束流離子注入機。
資料顯示,凱世通是一家專注于研發制造集成電路高端離子注入設備的高科技公司,主要提供系列化的離子注入解決方案。離子注入機是芯片制造三大關鍵裝備之一,開發難度僅次于光刻機,被業內人士稱為“廠長殺手”,其中低能大束流離子注入機的市場規模最大、產業化難度極高。
目前凱世通已實現了國產低能大束流離子注入機從樣機研發、產線驗證再到規模量產的跨越式發展,產品在10余家國內主流12英寸集成電路產線安全量產,覆蓋先進邏輯、先進存儲、CIS圖像傳感器以及功率芯片四大核心領域。
今年5月,凱世通宣布,國產低能大束流離子注入機12英寸晶圓產品片過貨量突破500萬片。隨后(6月5日),凱世通再次獲得一家12英寸主流晶圓廠客戶的低能大束流離子注入機復購訂單。