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【視頻報(bào)告 2019】南京大學(xué)王致遠(yuǎn):用于DUV和EUV探測(cè)的高性能SiC肖特基勢(shì)壘光電二極管
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SSLCHINA
2025-04-29 10:35
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深紫外(DUV)和極深紫外(EUV)探測(cè)器在光刻、天文監(jiān)測(cè)以及國(guó)防預(yù)警等諸多領(lǐng)域具有非常廣闊的應(yīng)用前景。在適用于DUV和EUV探測(cè)的所有
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