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陳荔：基于高溫熱退火技術的半極性AlN外延薄膜缺陷演化研究

視頻WBSC 20212025-01-22 14:50
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《基于高溫熱退火技術的半極性AlN外延薄膜缺陷演化研究》作者：陳荔，郭煒，林偉，陳航洋，康俊勇，葉繼春單位：中國科學院寧波
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