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用于藍綠光Mini/Micro-LED生產的MOCVD新型裝備Blue/Green Mini and Micro-LEDs Grown on Large Size Substrates for Advanced Display Applications陳耀中微公司MOCVD工藝總監Yao CHENDirector of MOCVD Process Technology，Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China

中微半導體設備（上海）有限公司副總裁MOCVD產品事業部總經理郭世平帶來了《氮化物深紫外LED生產型MOCVD機臺設計及外延生長的挑

為了使基于AlGaN材料的深紫外LED能夠更廣泛地應用于固化、水和空氣的凈化及醫療消毒等各方面，必須要大幅地降低其成本。提高深紫

中微半導體設備(上海)有限公司致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微通過創新驅動自主研發的等離子體刻蝕設備和硅通孔刻蝕設備已在國際主要芯片制造和封測廠商的生產線上廣泛應用于45納米到7納米及更先進的加工工藝和最先進的封裝工藝。目前，正在亞洲地區40多條國際領先的生產線上運行的中微反應臺（包括介質刻蝕、TSV和MOCVD）已將近800個。中微開發的用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備不僅已在客戶生產線投入量產，而且已成為在藍光LED市場占有率最大的領先設備

中微半導體設備(上海)有限公司主任研究員胡建正分享了介紹了基于高產率MOCVD平臺 - AMEC Prismo A7TM的氮鎵LED生長研究。胡建正主要研究基于GaN材料的LED器件設計、性能及可靠性分析。主要參與進行了中微第一代及第二代MOCVD的設計、工藝開發及...請您在WIFI條件下觀看！或下載極智APP收藏反復觀看！