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用于藍(lán)綠光Mini/Micro-LED生產(chǎn)的MOCVD新型裝備Blue/Green Mini and Micro-LEDs Grown on Large Size Substrates for Advanced Display Applications陳耀中微公司MOCVD工藝總監(jiān)Yao CHENDirector of MOCVD Process Technology，Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司副總裁MOCVD產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理郭世平帶來了《氮化物深紫外LED生產(chǎn)型MOCVD機(jī)臺設(shè)計及外延生長的挑

為了使基于AlGaN材料的深紫外LED能夠更廣泛地應(yīng)用于固化、水和空氣的凈化及醫(yī)療消毒等各方面，必須要大幅地降低其成本。提高深紫

中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。中微通過創(chuàng)新驅(qū)動自主研發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備和硅通孔刻蝕設(shè)備已在國際主要芯片制造和封測廠商的生產(chǎn)線上廣泛應(yīng)用于45納米到7納米及更先進(jìn)的加工工藝和最先進(jìn)的封裝工藝。目前，正在亞洲地區(qū)40多條國際領(lǐng)先的生產(chǎn)線上運(yùn)行的中微反應(yīng)臺（包括介質(zhì)刻蝕、TSV和MOCVD）已將近800個。中微開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備不僅已在客戶生產(chǎn)線投入量產(chǎn)，而且已成為在藍(lán)光LED市場占有率最大的領(lǐng)先設(shè)備

中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司主任研究員胡建正分享了介紹了基于高產(chǎn)率MOCVD平臺 - AMEC Prismo A7TM的氮鎵LED生長研究。胡建正主要研究基于GaN材料的LED器件設(shè)計、性能及可靠性分析。主要參與進(jìn)行了中微第一代及第二代MOCVD的設(shè)計、工藝開發(fā)及...請您在WIFI條件下觀看！或下載極智APP收藏反復(fù)觀看！