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北方華創第一
刻蝕
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北方華創第一
刻蝕
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等離子刻蝕技術在第三代化合物半導體領域的應用Application of Plasma Etching Technology in the Third-generation Compound Semiconductor Field謝秋實北京北方華創微電子裝備有限公司 第一刻蝕事業部副總經理XIE QiushiDeputy General Manager of NAURA Technology Group Co., Ltd.
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guansheng
2023-05-22 13:49
吳帆正樹：碳化硅溝槽
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吳帆正樹：碳化硅溝槽
《碳化硅溝槽刻蝕技術研究進展》作者：吳帆正樹，張清純，馬宏平，張潔，侯欣藍，張園覽單位：復旦大學工程與應用技術研究院超越照明研究所
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limit
2022-01-07 13:30
極智報告|北方華創第
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極智報告|北方華創第
北京北方華創微電子裝備有限公司第一刻蝕BU副總經理劉利堅介紹了LED工業中的干法刻蝕工藝技術和關鍵設備。劉利堅長期以來從事高端微電子裝備設計開發工作，對于等離子體刻蝕和PECVD設備的硬件設計和工藝應用有豐富經驗。劉利堅介紹了等離子刻蝕的一些技術問題，并具......
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2025-05-02 01:49
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