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王希瑋:金剛石材料制
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王希瑋:金剛石材料制
《金剛石材料制備加工和應用研究》作者:王希瑋,彭燕,徐明升,胡小波,徐現剛單位:山東大學新一代半導體材料研究院
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2022-01-06 10:23
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《半導體碳化硅晶圓生長和單晶加工》作者:皮孝東單位:浙江大學硅材料國家重點實驗室
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2022-01-05 17:02
瑞士MicrodiamantChri
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瑞士Microdiamant研發部門負責人Christian JENTGENS帶來了題為多晶金剛石微納米粉在SiC晶片加工中的應用及其關鍵工藝技術的主題報告,報告表示,碳化硅業務的主要目標是提高效率,并介紹了SiC晶圓加工的個性化解決方案,從廠商角度分享了碳化硅晶圓最重要的特征,如何判斷產品品質優劣以及關鍵的流程步驟等內容。
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2020-02-01 16:23
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