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化合物半導(dǎo)體外延大規(guī)模量產(chǎn)解決方案High Volume Manufacturing of Compound Semiconductors Epitaxy方子文AIXTRON中國總經(jīng)理FANG ZiwenGM of AIXTRON China

等離子刻蝕技術(shù)在第三代化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用Application of Plasma Etching Technology in the Third-generation Compound Semiconductor Field謝秋實北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 第一刻蝕事業(yè)部副總經(jīng)理XIE QiushiDeputy General Manager of NAURA Technology Group Co., Ltd.

在開幕式上，第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長吳玲作了題為《化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略思考》的主旨演講，就產(chǎn)業(yè)發(fā)展目前的形勢，存在的問題，面臨的挑戰(zhàn)等方面的問題分享了觀點看法。

化合物半導(dǎo)體工藝設(shè)備解決方案 Equipment and Processes Solutions in Compound Semiconductor王顯剛北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司LED及化合物半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展部總經(jīng)理WANGXiangangGeneral Manager ofLED and Compound Semiconductor Developmentdepartment, Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co.,ltd.

化合物半導(dǎo)體是未來核心材料，市場逐步擴(kuò)大，全球各大廠商都在布局化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，在功率器件、射頻器件，與終端消費電子領(lǐng)

德國愛思強(qiáng)股份有限公司Vincent MERIC分享了化合物半導(dǎo)體外延量產(chǎn)解決方案，討論6英寸到8英寸的GaAs VCSEL激光器、GaN/InGaAs Mi