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面向SiC功率器件的裝備與工藝解決方案NAURA Solutions for SiC Power Devices張軼銘北京北方華創微電子裝備有限公司Zhang YimingBeijing NAURA Microelectronics Equipment Co.,Ltd

等離子刻蝕技術在第三代化合物半導體領域的應用Application of Plasma Etching Technology in the Third-generation Compound Semiconductor Field謝秋實北京北方華創微電子裝備有限公司 第一刻蝕事業部副總經理XIE QiushiDeputy General Manager of NAURA Technology Group Co., Ltd.

化合物半導體工藝設備解決方案 Equipment and Processes Solutions in Compound Semiconductor王顯剛北京北方華創微電子裝備有限公司LED及化合物半導體行業發展部總經理WANGXiangangGeneral Manager ofLED and Compound Semiconductor Developmentdepartment, Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co.,ltd.

北京北方華創微電子裝備有限公司產品總監董博宇帶來了《磁控濺射制備的ITO薄膜在LED領域中的開發及應用》主題報告。

北方華創全面展示為集成電路、先進封裝、半導體照明、功率半導體、微機電系統、化合物半導體、平板顯示、新能源光伏等尖端領域量身定做的ETCH、PVD、CVD、Furnace、Wet Clean、MFC等高端半導體工藝裝備及核心零部件，助力芯片制造商實現芯夢想，引領科技走進芯生活。

北京北方華創微電子裝備有限公司第一刻蝕BU副總經理劉利堅介紹了LED工業中的干法刻蝕工藝技術和關鍵設備。劉利堅長期以來從事高端微電子裝備設計開發工作，對于等離子體刻蝕和PECVD設備的硬件設計和工藝應用有豐富經驗。劉利堅介紹了等離子刻蝕的一些技術問題，并具......