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促進寬禁帶半導體產業化的關鍵外延技術The key epitaxial technology to promote the industrialization of wide bandgap semiconductors方子文德國愛思強股份有限公司中國區副總經理FANG ZiwenDeputy General Manage，China AIXTRON SE

德國愛思強產品管理總監Jens VOIGT介紹了《用于RGB Micro-LED大批量制造的MOCVD解決方案》主題報告。他介紹說，愛思強的行星式反應器平臺是生產具有最高一致性、重復性和缺陷控制標準的化合物半導體器件的已建立的平臺，例如用VCSEL激光器證明的3D傳感器技術，這是當前高容量需求的關鍵驅動因素之一。同樣的要求組合也適用于Micro-LED技術：在低的缺陷水平下，結合外延層的高通量結構具有非常高的精度。行星式反應器平臺技術已經被

德國愛思強股份有限公司Vincent MERIC分享了化合物半導體外延量產解決方案，討論6英寸到8英寸的GaAs VCSEL激光器、GaN/InGaAs Mi

對話內容：Micro LED在今年吸引了大家的眼球，由于其優良的光電學特性，Micro LED很有希挑戰現有的LCD及OLED技術，掀起一場顯示器技術的革命。在2018年10月24日召開的ChinaSSL會議上，聯盟有幸采訪到來自德國愛思強的產品線總監Jens Voigt博士。Voigt博士自2001年加入AIXTRON并擔任外延工藝科學家一職，主要負責氮化鎵MOCVD外延生長以滿足LED生產需求。他現任德國愛思強產品線總監，負責MOCVD外延機臺的銷售，服務以及市場拓展工作。此次Voigt博士針對Mic

德國愛思強股份有限公司電力電子器件副總裁Frank WISCHMEYER先生分享了，就高生產率的碳化硅同質外延的程序在大容量生產反應器當中的表現主題報告。他表示，用于高產量生產的高增長率SiC同質外延工藝生長的大容量生產反應器，它是在于每小時二十五微米，更好地，更快速地長外延材料，那么也是在生產領域對于生產廠家來說是一個好事，那么同時它這個結果在之間出的效果，尤其是在一千二百伏元器件體現出來。預計2018年這種全面的自動化技術的使用，會使得我們整個產業會有大量的一個客戶量的增長。

愛思強全球副總裁Michael HEUKEN ：Micro LED顯示屏-高產率MOCVD工藝路徑。報告中，Michael HEUKEN 分享了關于 Micro LED相關設備的研究進展及成果，也包括一些生產平臺等技術。他同時表示，未來非常期待手機顯示器就.....請您在WIFI條件下觀看！或下載極智APP收藏反復觀看！