AE 推出一款嶄新的電漿工藝設備電源系統，并確保其先進固態匹配器及集成了射頻發生器和匹配器的解決方案可以支持更多高效的功能

Advanced Energy(Nasdaq: AEIS) 一直致力于開發各種先進的高精確度電源轉換、測量和控制系統等解決方案，這方面的技術更一直領先全球。該公司宣布推出三個可支持先進技術節點半導體晶圓工藝設備的全新解決方案。

Advanced Energy 半導體產品副總裁兼總經理 Peter Gillespie 表示：「隨著第4次工業革命揭開帷幕，半導體制造技術不斷發展，并且迅速掀起翻天覆地的轉變。在開發相關的電源解決方案時，Advanced Energy 一直走在發展的前沿，我們的電源系統可確保半導體產品外形更為小巧，也讓生產商可以更快速、更嚴格控制工藝，而且又可降低擁有成本，因此廠商客戶都很倚重我們這方面的技術生產各種芯片，新芯片的量產又帶動整個信息產業的發展。工藝設備電源系統以前幾乎完全被人忽視，現在則越來越多人肯定其重要性，認為工藝設備電源技術在整個晶圓生產過程中發揮極具關鍵的作用。我們很樂意分享我們這方面的產品，例如"可支持整個工藝的電源產品"。我們也會在展覽期內率先推出"可支持整個平臺的電源產品"，其中包括Advanced Energy 雅特生科技產品部的一系列電源產品。」

Advanced Energy 推出以下幾個極具價值的全新系統解決方案，新的電源技術顯示電源系統如何以全新的方法為電漿工藝設備提供供電：

eVoSLE:Advanced Energy 推出一項嶄新的非正弦波電漿工藝設備電源技術。這個稱為eVoS的平臺可以控制投射在物料表面極少范圍內的離子能量。這是先進蝕刻和沉積工藝所越來越倚重的技術，可用于生產精密的5納米(nm)及以下的晶圓。一向以來，正弦波射頻偏壓電漿工藝采用一種較為復雜的多頻率電源系統，而eVoS平臺則是一個產生離子能量分布較窄的客制化方案，為市場提供另一個較為簡單的選擇。Advanced Energy 這個解決方案可確保離子能量分布范圍更加直接受到控制，也有助于提高偏壓電源的能效，而且可降低電源損耗，較傳統的解決方案更優勝。晶圓的封裝大小設計日趨復雜，要解決生產上的問題就必須充分利用這項新技術的優點。eVoS LE (即低能量) 則可提供容易準確控制供電量的電源系統，最適用于極重要的電漿工藝方面的應用，例如，原子層蝕刻(ALE)、蝕刻、清潔、沉積和原子層沉積(ALD)。

Navigator?II FCi:Advanced Energy 的 Navigator II 一直是領先業界的阻抗匹配網絡平臺，大受市場歡迎。該公司現在乘勢推出一款全新的 Navigator II FCi。這款更快的固態匹配網絡平臺無論在價值、速度以及調諧范圍都勝于標準的匹配器產品。Navigator II FCi 采用高速的PIN型二極管技術，與Advanced Energy 早前率先在市場推出的 Navigator II FastCap固態匹配器各有優點，兩者可產生相輔相成的作用，讓功率輸出和阻抗范圍可以擴大，響應時間也可縮短至亞毫秒(ms)水平。Navigator II FCi 沒有轉動的零部件，因此其可靠性和可復制性優于傳統的真空電容匹配器。Navigator II FCi 可支持與原子層蝕刻有關的先進應用，并加強其功能，讓這類應用可支持各式各樣日漸增多的應用，以滿足新產品市場的規格要求。例如，稱為 Paramount HFi 的全新射頻電源系統除了集成匹配器和發生器之外，也同樣采用 Navigator II FCi 這種高速PIN型二極管技術。

Paramount?HFi:這款高度集成的射頻電源系統采用小巧的封裝，但性能卓越，成本低廉，可滿足先進沉積工具的嚴格要求。2000年，Advanced Energy 成功開發業界首款可量產而又全面集成了發生器和匹配器電源系統。這款稱為Apex的射頻電源系統至今仍是沉積射頻應用方面的理想電源，其優點是可在四個不同調諧范圍之間切換。全新的 Paramount HFi 沿著這個路向再跨進一大步，提供32個不同調諧范圍，另外還配備一個改良的全數字控制系統以及一個全新VI (射頻計量學) 傳感器。由于 Paramount HFi 配備這些新功能，加上另外還有擴大了的操作窗口，因此除了可以支持先進的工藝控制之外，還有高度可重復性的優點，甚至配備一個共激機模式，以確保采用集群配置的不同系統可以同步操作，以及支持先進的通信協議(EtherCAT)。Paramount HFi 具有體積小巧、以毫秒(ms)計的響應時間以及高度穩定可靠等優點，因此是目前快速沉積工藝的理想解決方案。對于處理先進的NAND型閃存和其他高度重復的堆迭元器件來說，速度和可靠性越來越受重視，甚至被視為決定生產成敗的關鍵因素。對于這類應用來說，Paramount HFi 也是理想的解決方案。

有關技術規格的詳細資料，請登入www.advancedenergy.com網頁瀏覽。

Advanced Energy 簡介

Advanced Energy (納斯達克：AEIS) 致力為任務關鍵型應用和工藝設備設計并制造先進精密的電源轉換、測量和控制系統解決方案，這方面的技術一直領先世界。Advanced Energy 一直為客戶提供各種電源解決方案，讓客戶可針對不同工業的各種復雜應用，開發各種創新產品，其中包括半導體工業設備、工業制品、生產設備、電信設備、數據中心計算系統和護理設備。Advanced Energy 擁有工程技術方面的專業知識，而且致力為世界各地的客戶提供誠摯的服務與技術支持，因此已成功與客戶建立了緊密的合作伙伴關系，讓客戶可以因應技術的發展趨勢開發新一代創新的電源技術，以配合公司未來業務的發展。Advanced Energy 總部位于美國科羅拉多州丹佛市，三十多年來一直致力為全球客戶提供盡善盡美的電源產品。如需查詢更詳細的相關資料，請登入www.advancedenergy.com網頁瀏覽。