1月15日，由國宏中宇科技發展有限公司控股，山東國宏中能科技發展有限公司投資建設的年產11萬片碳化硅襯底片項目在山東河口經濟開發區建成并啟動試生產。

 

記者進入生產車間，映入眼簾的是排列整齊的晶體生長與襯底片加工設備，車間內生產環境潔凈整潔、水、電、風、氣等工藝管道排列整齊。走近設備，看到的是設備自動控制屏上，各種變換的工藝參數，技術人員在有條不紊的進行著設備操作。

 

據了解，山東國宏中能年產11萬片碳化硅襯底片項目總投資6.5億元，總建筑面積3萬平方米。該項目于2020年2月入選山東省新舊動能轉換重大項目庫第一批優選項目名單，是市、區兩級重點項目。通過在材料制備技術體系、核心裝備研制上的持續科研投入，同時緊密結合研發成果的產業化生產轉化，目前本項目已經具備投產條件。本項目整體兩期規劃建設完畢并全部投產后，預計平均年營業收入約7億元，企業年納稅總額約5000萬元，新增中高端就業崗位超過200個。

山東國宏中能科技發展有限公司年產11萬片碳化硅襯底片項目于2019年9月底開工建設，2020年面對突如其來的新冠疫情影響，在市區委、政府和相關部門的大力支持幫助下，項目建設團隊積極采取有效措施克服施工人員返崗及材料供應困難，保安全、保質量，搶進度，全力以赴推進項目建設，既趕回了項目建設進度，又有力地落實了各項新冠疫情防控工作。項目于2020年5月完成一期廠房主體結構施工；8月份開始進行廠務配套系統施工；10月份主要工藝設備到位開始安裝，2020年底完成第一批工藝設備安裝、調試；目前項目已經具備投產能力并順利啟動試生產。

 

山東國宏中能科技發展有限公司目前主要生產4英寸、6英寸4-H N型導電碳化硅襯底片和4-H半絕緣碳化硅襯底片。在工藝技術上依托中科鋼研、國宏中宇“第三代半導體材料制備關建共性技術北京市工程實驗室”的強大科研能力，已形成了具有自主知識產權的關鍵核心技術體系，產品技術指標達國內一流水平。所生產的碳化硅襯底片產品可廣泛應用于以新能源汽車、高速軌道交通、超高壓智能電網為代表的功率電子應用領域和以5G通信、航空航天通信、軍工相控陣雷達等為代表的高頻射頻應用領域。

 

“國宏中能年產11萬片碳化硅襯底片項目投產后不僅可以滿足我國第三代半導體下游企業對于核心關鍵材料的需求，更能有效地解決我國在大規格、高品質碳化硅半導體襯底片領域所面臨的‘卡脖子’難題，保障我國第三代半導體下游產業的持續、穩定、健康發展。在打開國內市場的同時，公司還將積極參與國際市場競爭，在國際第三代半導體材料行業中打響‘東營智造’、‘中國智造’品牌！國宏中宇、山東國宏中能將持續向著成為國際一流，國內領先的現代化高科技第三代半導體材料生產企業的目標奮力前行。”國宏中宇科技發展有限公司、山東國宏中能科技發展有限公司總經理趙然充滿信心地說。