晶盛機電(300316)董事長曹建偉在參加證券時報e公司·高管面對面活動時表示，這幾年我們在發展碳化硅的一個業務，碳化硅材料是這幾年，因為隨著新能源汽車、5G通訊它起來了以后，它對材料需求非常的旺盛，所以我們在布局。在去年我們已經開始實現了，碳化硅材料的晶體生長跟外延的一些設備的銷售。

 

近日，晶盛機電在接受機構調研時表示，公司是國內領先的半導體材料裝備和LED襯底材料制造的高新技術企業,以“打造半導體材料裝備領先企業，發展綠色智能高科技制造產業”為使命，圍繞硅、碳化硅、藍寶石三大主要半導體材料開發出一系列關鍵設備，并適度延伸到材料領域。在硅材料領域，公司開發出了應用于光伏和集成電路領域兩大產業的系列關鍵設備，包括全自動晶體生長設備（單晶生長爐、區熔硅單晶爐、多晶鑄錠爐）、晶體加工設備（單晶硅滾磨機、截斷機、開方機、金剛線切片機等）、晶片加工設備（晶片研磨機、減薄機、拋光機、外延設備、LPCVD設備等）、疊瓦組件設備等。

 

在碳化硅領域，晶盛機電的產品主要有碳化硅長晶設備及外延設備；在藍寶石領域，公司可提供滿足LED照明襯底材料和窗口材料所需的藍寶石晶錠和晶片。同時，公司還建立了以高純石英坩堝、拋光液及半導體閥門、管件、磁流體、精密零部件為主的產品體系以配套半導體關鍵零部件、輔材耗材方面的需求。公司產品主要應用于集成電路、太陽能光伏、LED、工業4.0等具有廣闊發展前景的新興產業。

 

晶盛機電在光伏產業鏈裝備取得了行業認可的技術和規模雙領先的地位，在8-12英寸大硅片設備領域，公司產品在晶體生長、切片、拋光、外延等晶片材料環節已基本實現8英寸設備的全覆蓋和國產化替代，12英寸長晶設備及部分加工設備也已實現批量銷售，產品質量已達到國際先進水平。

 

藍寶石材料方面，公司大尺寸藍寶石晶體生長工藝和技術已達到國際領先水平，目前已成功生長出全球領先的700Kg級藍寶石晶體，建立了規模化生產基地，是掌握核心技術及規模優勢的龍頭企業。公司碳化硅外延設備已通過客戶驗證，同時在碳化硅晶體生長、切片、拋光環節已規劃建立測試線，以實現裝備和工藝技術的領先，加快推進第三代半導體材料碳化硅業務的前瞻性布局。

 

此外，藍寶石材料方面，晶盛機電擁有國際領先的超大尺寸藍寶石晶體生長技術，建立了從長晶到切磨拋環節的生產能力，目前已成功生長出全球領先的700Kg級藍寶石晶體，建立了規模化生產基地，是掌握核心技術及規模優勢的龍頭企業。 面向LED與視窗防護領域，可提供滿足客戶需求的藍寶石晶體、晶棒和晶片等各類藍寶石部件。公司與消費電子視窗防護領域的制造龍頭藍思科技合作，成立寧夏鑫晶盛電子材料公司，從事藍寶石材料的生產及加工，為藍寶石材料在消費電子應用領域的規模應用提前布局。目前寧夏鑫晶盛的建設工作有序推進中，廠房建設和設備進場按預期計劃順利進行。

 

碳化硅作為第三代半導體材料的典型代表，具有高禁帶寬度、高電導率、高熱導率等優越物理特征。但其制作的技術門檻較高，良率低，成本較高制約其發展，導致行業的整體產能遠不及市場需求。碳化硅晶片尺寸向大尺寸方向發展，以不斷提高下游對碳化硅晶片的利用率和生產效率，6英寸晶片將成為主流。 晶盛機電表示，公司近年布局的第三代半導體材料碳化硅的研發取得關鍵進展，成功生長出6英寸碳化硅晶體，公司將持續加強碳化硅長晶工藝和技術的研發和優化，并做好研產轉化，建立生長、切片、拋光測試線，在量產過程中逐步打磨產品質量，掌握純熟工藝和技術，公司碳化硅外延設備已通過客戶驗證。