期間， “IFWS  2021：碳化硅功率器件與封裝應用論壇“成功召開。會議由蕪湖啟迪半導體有限公司、中國電子科技集團公司第四十八研究所、北京北方華創微電子裝備有限公司、德國愛思強股份有限公司協辦支持。

▲北京北方華創微電子裝備有限公司LED及化合物半導體行業發展部總經理王顯剛
 

會上，北京北方華創微電子裝備有限公司LED及化合物半導體行業發展部總經理王顯剛分享了“化合物半導體工藝設備解決方案”主題報告。

北京北方華創微電子裝備有限公司經過二十年的發展，北方華創已成為國內領先的半導體裝備制造與服務商。在化合物半導體領域，NAURA定制開發了化合物半導體刻蝕機、PECVD系統、槽式清洗系統和臥式擴散/氧化系統，為客戶提供全面的設備及工藝解決方案。北方華創專注器件工藝研發，包括SiN/GaN 慢速低損傷刻蝕設備，SiC通孔高速刻蝕設備，高致密、低應力的PECVD薄膜沉積設備等均已在國內多條主流生產線上批量應用。

在SiC量產線上，應用于SiC功率器件的Etch、PVD、清洗設備、PEVCD、臥式爐等關鍵工藝設備在國內主流產線上也已大規模應用。國內首臺量產型SiC高溫氧化退火/高溫激活立式爐在客戶端實現量產應用；公司的SiC長晶爐已在客戶端批量投入使用。