日前,由上海果納半導體設備有限公司研發團隊自主設計生產的國產首臺8LP雙天車系統的sorter(晶圓傳輸設備),取得終端客戶認證。晶圓傳輸設備在實現國產化的道路上再次獲得技術突破;作為國內半導體傳輸設備制造的新銳企業,果納由剛剛被評為“2022最值得關注的女性創業者”之一的創始人葉瑩女士的布局發展下,歷經短短1年多的快速發展中,陸續獲得國內多家知名半導體設備及制造企業的認可,團隊以優質快速的服務響應,滿足客戶定制化的產品研發理念;不斷攻克技術難題,對標國際先進水平,打破行業技術壟斷,實現彎道超越。這是國產半導體產業良性發展的關鍵,同時代表著芯片行業細分領域國產自動化設備取得長足進展。


該項目負責人介紹——由果納自主研發的GN208型8 Loadport SORTER 在西安奕斯偉硅片技術有限公司認證通過,今天正式生產。該機臺設備是用于12寸大硅片廠出貨前的分選工序,其配備了8套晶圓承載系統,分設備兩側對稱安裝,可實現兩側同時對接天車。GN208設備結構布局緊湊,占地面積小,分選效率高,有效提高了客戶廠房廠務的利用率。
同時,果納GN208 SORTER機臺在設計上采用了恒壓微環境的設計概念,使設備內部的晶圓傳送區域始終保持較高潔凈度等級。通過設計上的保障,嚴格的組裝工藝,以及現場專業的服務團隊,該設備僅用了1個月的時間通過了50nm和28nm的particle、edge metal連續測試。
另外,果納GN208 SORTER 機臺配置了更友好的人機界面系統,更便于操作和監控晶圓的分選路徑,輕松實現單倉排序,跨倉調配。同時,設備可識別兼容多種晶圓料盒,并搭載高精度晶圓ID讀碼器,使分選工作更高效可靠。設備采用了完全國內自主開發的SECS/GEM半導體標準傳輸協議,現已順利通過客戶的EAP測試。
