近日，中國招標頭條公公服務平臺發布等離子體介質刻蝕機中標結果公告顯示，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）中標華虹半導體（無錫）有限公司（以下簡稱“華虹無錫”）12臺刻蝕機。

 

 

 

Source：全國招標投標公共服務平臺公告

 

信息顯示，中微公司本次中標的12臺刻蝕機設備包括3臺鈍化膜等離子體刻蝕機、7臺氧化膜等離子體刻蝕機、2臺氮化硅等離子體刻蝕機。

 

中微公司主要從事高端半導體設備及泛半導體設備的研發、生產和銷售，是國內高端微觀加工設備的知名企業之一。產品主要包括CCP刻蝕設備、ICP刻蝕設備、MOCVD設備等。