中微半導體設備（上海）股份有限公司發布2022年第三季度報告。報告指出公司2022年前三季度新簽訂單金額同比增長60.24%達56.40億元，營業收入同比增長46.81%達30.43億元。公司2022年前三季度刻蝕設備收入為20.01 億元，較去年同期增長約48.00%，毛利率達到46.48%；其中CCP刻蝕設備前三季度收入14.51 億元，同比增長29.27%；ICP刻蝕設備前三季度收入 5.51億元，同比增長139.33%；公司2022年前三季度MOCVD設備收入為3.88億元，較去年同期增長約 27.70%，前三季度MOCVD設備的毛利率達到35.83%。2022年前三季度歸屬于上市公司股東的扣除非經常性損益后的凈利潤較上年同期增加約4.79億元，增長幅度為290.43%，主要系 2022年前三季度公司營業收入和毛利同比均有大幅增長。

2022年前三季度歸屬于上市公司股東的凈利潤較上年同期增加約2.51億元，增長約46.34%，主要系：（1）2022年前三季度收入和毛利增長下扣除非經常性損益后的歸母凈利潤較上年同期增加約 4.79 億元；（2）2022年前三季度非經常性損益較去年同期減少2.28億元。非經常性損益變動主要包括：前三季度計入非經常經損益的政府補助較去年同期減少約2.16億元；前三季度公司因股權投資產生的公允價值變動收益較去年同期減少約 0.52億元，主要是由于公司持有的中芯國際的股票價格在2022年有一定幅度的下降。