實現第三代半導體——SiC（碳化硅）芯片自主量產并達到國際領先水平，裝載百萬輛新能源車，助力國內新能源汽車產業高質量發展，保障國內車企供應鏈安全。位于江寧開發區的國家第三代半導體技術創新中心（南京）平臺（以下簡稱南京平臺），不斷取得科技創新領域突破。前天，記者來到中心探訪。

南京平臺超凈廠房內，一臺臺精密儀器正在工作。偌大的車間里，科研人員坐在電腦前操控，許多設備已經自動化運行。在一個生產車間內，自動測試臺正在對一片已完工的6英寸SiC晶圓進行測試，探針比繡花針還要細。通過顯微鏡可以看到，測試探針在芯片間高速移動。每一片晶圓上都分布著2000多個芯片，探針會對芯片性能進行全面評估，每一個芯片的性能數據迅速同步到數據中心以便技術人員隨時掌握產線生產狀態。一旁的顯示屏上同步顯示著檢測結果。“綠色代表合格，紅色則相反。”中心主任陳辰說，只見屏幕上幾乎都是綠色。

別小看這些長寬僅有2毫米左右的芯片，它可是新能源車車載充電機的“心臟”，有了它，新能源車充電效率大大提高，而且能節省電力，實現減碳降耗。就是這小小的芯片，穩定了國內車企的供貨渠道，實現了自主研發自主生產。

陳辰介紹，南京平臺主要圍繞SiC器件技術開展研究工作，在關鍵技術領域取得技術突破，建立了成熟的SiC肖特基二極管和MOSFET（金屬—氧化物—半導體場效應管）產品技術并成功完成成果轉化。“經過科研團隊的不斷努力，我們中低壓系列產品形成基本達到國外量產化技術水平，高壓產品的核心指標達到國際先進水平。”他說，SiC肖特基二極管已累計銷售2000余萬只，在各類電源應用領域取得了較好的市場反響；SiC MOSFET產品累計銷售1000余萬只，在電動汽車領域實現銷售500余萬只，累計裝車100余萬輛。

目前，南京平臺擁有一支高水平三代半導體技術團隊，人員覆蓋芯片設計、單項工藝、工藝整合、可靠性保障、應用支撐等方面。團隊內部從機理研究到工程化產品技術，從單項關鍵工藝到生產技術整合組織技術人員開展分工研究。針對器件批產一致性提高開展制造工藝全流程的優化，打通全部生產環節，晶圓成品率達到國際先進水平。

據悉，南京平臺利用五十五所現有SiC電力電子器件研發平臺，通過南京市、江寧開發區投入帶動，打造功能更先進的6英寸SiC電力電子器件研發和中試平臺，以存量帶動增量，既節約成本又實現建設周期縮短。

“南京平臺將以第三代半導體關鍵技術研發為核心使命，產學研協同推動科技成果轉移轉化與產業化，為區域和產業發展提供源頭技術供給，為科技型中小企業孵化、培育和發展提供創新服務，為支撐產業向中高端邁進、實現高質量發展發揮戰略引領作用，面向未來半導體領域高水平科技自立自強，承擔更多更重要的角色，發揮好‘出題人’‘答卷人’‘閱卷人’作用。”陳辰說。

【記者手記】

實地探訪國家第三代半導體技術創新中心（南京）平臺，對南京奮力實現高水平科技自立自強的拼勁有了更直觀的感受。

南京是全國科教資源最集中的城市之一，連續多年出臺政策支持創新發展，覆蓋經營主體培育、重大創新平臺中心建設、科技成果轉化、產業創新能力提升、重大項目攻關、人才引進和國際合作等方面，形成了良好的創新氛圍。南京位列全國先進制造業百強市第四位，已成為我國集成電路產業強市。

國家第三代半導體技術創新中心（南京）平臺取得的成就是南京科技自立自強之路的一個縮影。在這座城市，以創新型領軍企業為龍頭、高新技術企業為骨干、科技型中小企業為基礎的創新型企業集群正在形成。

來源：南京日報