近日，《中國(guó)科學(xué)：信息科學(xué)》英文版（SCIENCE CHINA Information Sciences）2024年第76卷第10期發(fā)表了電子科技大學(xué)的研究成果，文章題為“HF-VHF NEMS resonators enabled by 2D semiconductor ReSe2”，電子科技大學(xué)王曾暉、夏娟、朱健凱、徐博為通訊作者，基礎(chǔ)與前沿研究院為第一完成單位。該研究得到了國(guó)家杰出青年科學(xué)基金、國(guó)家自然科學(xué)基金原創(chuàng)探索計(jì)劃等項(xiàng)目的支持。

二維半導(dǎo)體為構(gòu)建新型納米器件提供了大量機(jī)會(huì)，作為其中的代表二硒化錸ReSe2已在二維激光、晶體管和光電探測(cè)器等領(lǐng)域取得了一系列進(jìn)展。研究者們通過干法轉(zhuǎn)移技術(shù)，制備了從單層到超百層的30余個(gè)圓形ReSe2鼓膜諧振，器件工作在高頻-超高頻范圍。在進(jìn)一步對(duì)器件諧振的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行總結(jié)和分析后，研究人員們成功確定了二維ReSe2晶體的楊氏模量為110GPa，并確立了ReSe2納米機(jī)電器件的頻率設(shè)計(jì)規(guī)律。上述成果有望為新型ReSe2納米器件的設(shè)計(jì)及其應(yīng)用提供重要的指導(dǎo)，并推動(dòng)二維ReSe2納米機(jī)電器件的發(fā)展。

ReSe2的晶體結(jié)構(gòu)，基于1-3層ReSe2材料的納米機(jī)電器件，及此類器件的頻率設(shè)計(jì)規(guī)律和二維ReSe2晶體的楊氏模量提取。

論文鏈接：https://doi.org/10.1007/s11432-024-4047-2