天眼查顯示，北京北方華創微電子裝備有限公司“晶舟結構、半導體熱處理設備及其控制方法”專利公布，申請公布日為2025年2月28日，申請公布號為CN119542208A。

本發明提供一種晶舟結構、半導體熱處理設備及其控制方法。其中，晶舟結構包括：固定支架，具有固定支撐部；調節機構，設置在固定支架上，調節機構具有多個可移動的輔助支撐部，調節機構具有第一狀態和第二狀態，在調節機構處于第一狀態，至少兩個輔助支撐部移動至與固定支撐部齊平的位置；在調節機構處于第二狀態，僅有一個輔助支撐部移動至與固定支撐部齊平的位置，以使一個輔助支撐部與固定支撐部共同支撐同一晶圓。本發明的晶舟結構通過設置調節機構可以改變支撐晶圓的支撐點的數量，在使用時，可以根據工藝溫度對晶圓支撐點的數量進行調整，從而在避免產生滑移缺陷，同時還可以避免顆粒劃傷、污染的問題，提高工藝的良品率。