中微公司1月14日發(fā)布晚間公告稱，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”），擬在成都市高新區(qū)投資設(shè)立全資子公司中微半導(dǎo)體設(shè)備（成都）有限公司，建設(shè)研發(fā)及生產(chǎn)基地暨西南總部項(xiàng)目。預(yù)計(jì)2025年開工，2027年投入生產(chǎn)。

公告顯示，預(yù)計(jì)2025至2030年期間，項(xiàng)目總投資約30.5億元，主要用于研發(fā)薄膜設(shè)備。項(xiàng)目公司將在高新區(qū)建設(shè)研發(fā)中心、生產(chǎn)制造基地、辦公用房及附屬配套設(shè)施，配備先進(jìn)的自動化生產(chǎn)線和高精度檢測設(shè)備，滿足量產(chǎn)需求。項(xiàng)目公司將面向高端邏輯及存儲芯片，開展化學(xué)氣相沉積設(shè)備、原子層沉積設(shè)備及其他關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)工作。項(xiàng)目公司將在設(shè)立后，加強(qiáng)與成都高校和科研院所等的合作，通過聯(lián)合研發(fā)、創(chuàng)新人才培養(yǎng)等形式，推動產(chǎn)學(xué)研一體化，提升區(qū)域科技創(chuàng)新能力。

據(jù)了解，中微公司是國內(nèi)最大的半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備制造商之一。該公司在上海臨港和江西南昌已經(jīng)擁有18萬平方米和14萬平方米的生產(chǎn)研發(fā)基地，投入使用。