天眼查顯示，紫光同芯微電子有限公司“一種SGT器件及其制備方法”專利公布，申請公布日為2024年12月31日，申請公布號為CN119230411A。
本發明公開了一種SGT器件及其制備方法，制備方法包括：在襯底上形成外延層；外延層包括相對設置的第一表面和第二表面；第一表面為第二表面遠離襯底的表面，外延層包括體區，體區遠離襯底的表面與第一表面為同一平面；在第一表面形成至少一個第一溝槽；第一溝槽由第一表面延伸至外延層內；在第一溝槽的側壁形成保護層；在每一第一溝槽內形成第二溝槽；第二溝槽由第一溝槽的底部延伸至外延層內，每一第一溝槽對應一個第二溝槽；沿第一方向，第二溝槽的寬度大于第一溝槽的寬度，第一方向垂直于襯底指向外延層的方向；在第二溝槽內形成第一柵極結構；去除保護層；在第一溝槽內形成第二柵極結構。本發明可以優化器件的雪崩特性，提高器件的承壓能力。
