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在萬物互聯(lián)的時(shí)代浪潮中，傳感器作為物聯(lián)網(wǎng)、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)與人工智能等前沿技術(shù)的核心元器件，正成為推動(dòng)產(chǎn)業(yè)智能化升級(jí)的關(guān)鍵基石。而微機(jī)電系統(tǒng)（英文：Micro-Electro-Mechanical System，以下簡(jiǎn)稱“MEMS”）得益于小體積、高穩(wěn)定、高精度、低成本等優(yōu)勢(shì)，隨著國(guó)家重大裝備性能和人民生活質(zhì)量提升的雙重需求，在傳感器應(yīng)用領(lǐng)域愈發(fā)重要。

對(duì)MEMS的探索可起源于20世紀(jì)50年代，一直以來，生產(chǎn)制造是MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的最關(guān)鍵環(huán)節(jié)。MEMS源于集成電路的工藝基礎(chǔ)，線寬以90nm-0.35mm為主，雖然不像半導(dǎo)體先進(jìn)制程達(dá)到28nm以下，但MEMS元器件結(jié)構(gòu)相對(duì)復(fù)雜，除了延用集成電路的成熟工藝以外還需引入特殊工藝。MEMS傳感器芯片本質(zhì)上是在硅片上制造極微小化機(jī)械系統(tǒng)和集成電路的集合體，加工工藝具有明顯的非標(biāo)準(zhǔn)化和定制化特征，制造的工藝水平基本上決定了MEMS產(chǎn)品的基準(zhǔn)性能，并且對(duì)供應(yīng)鏈體系支撐有較高的要求，從特定角度來說，MEMS工藝要求、MEMS定制化設(shè)備需求比集成電路要更高，因而MEMS晶圓制造決定了MEMS的產(chǎn)業(yè)化上限。

2025年10月22日至24日，第六屆中國(guó)MEMS制造大會(huì)暨微納制造與傳感器展覽會(huì)將在蘇州國(guó)際博覽中心隆重舉行。這場(chǎng)多年來緊緊圍繞MEMS“制造”的專業(yè)展會(huì)，聚焦傳感器前沿技術(shù)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展，將再次匯聚全球頂尖專家與創(chuàng)新成果，為MEMS制造領(lǐng)域帶來全新發(fā)展機(jī)遇，助力產(chǎn)業(yè)生態(tài)繁榮發(fā)展。

該大會(huì)由中國(guó)唯一的MEMS行業(yè)權(quán)威組織——中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)主辦，自2019年起已連續(xù)成功舉辦五屆。大會(huì)延續(xù)高規(guī)格、強(qiáng)陣容、廣影響的行業(yè)定位，在展覽規(guī)模、產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋等方面實(shí)現(xiàn)了全面升級(jí)。

24000㎡微納制造與傳感器展

1、參展范圍

MEMS微納制造產(chǎn)業(yè)鏈：

MEMS器件及模組、加工裝備、納米壓印、微制程技術(shù)、初試/量產(chǎn)代工、特殊工藝平臺(tái)、鍵合/解鍵合設(shè)備、分析檢測(cè)、特種封裝、MEMS融合接合技術(shù)、下一代光刻技術(shù)、感知元器件、執(zhí)行器、各類傳感器等。

半導(dǎo)體制備材料：

鈮酸鋰/PZT/稀有金屬靶材等各類電子原材料、晶圓硅片、碳化硅/氮化鎵/氧化鎵等第三四代半導(dǎo)體材料、玻璃基板、光刻膠、特氣供應(yīng)、制備耗材等。

計(jì)量、測(cè)試與認(rèn)證：

精密分析儀器、科學(xué)試驗(yàn)裝置、智能儀表、試驗(yàn)機(jī)與力學(xué)檢測(cè)設(shè)備、精密測(cè)量與測(cè)試、光學(xué)檢測(cè)、質(zhì)量檢測(cè)、量子化計(jì)量技術(shù)、先進(jìn)計(jì)量測(cè)試技術(shù)、校準(zhǔn)與檢測(cè)、第三方認(rèn)證等。

AI、多傳感器融合、具身感知等應(yīng)用：

多傳感器融合解決方案、人工智能技術(shù)、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)、算法及通訊模組、人形機(jī)器人、電子皮膚，靈巧手等。

2、已確定參展企業(yè)

目前，展區(qū)匯聚200多家MEMS全產(chǎn)業(yè)鏈知名企業(yè)單位，部分參展企業(yè)包括：歌爾、敏芯、明皜、漢威等MEMS器件設(shè)計(jì)企業(yè)；MEMSRIGHT、納米所加工平臺(tái)、晶方半導(dǎo)體、九峰山實(shí)驗(yàn)室、芯動(dòng)科技等20余家量產(chǎn)/代工企業(yè)；勝科納米、米格實(shí)驗(yàn)室、中國(guó)機(jī)械總院、計(jì)量所等測(cè)試分析企業(yè)；南智光電、松山湖實(shí)驗(yàn)室、化合積電等上游原材料企業(yè)；KLA、ULVAC、卡爾蔡司、奧林巴斯、Park等國(guó)內(nèi)外設(shè)備企業(yè)。

2025年展商名錄，名單持續(xù)更新中

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3.擬邀2萬+精準(zhǔn)觀眾

展區(qū)將吸引2萬+來自MEMS產(chǎn)業(yè)的精準(zhǔn)觀眾，一同探討行業(yè)趨勢(shì)、尋找合作機(jī)會(huì)、拓展商業(yè)網(wǎng)絡(luò)。參展企業(yè)可以全方位呈現(xiàn)MEMS制造全產(chǎn)業(yè)鏈的科研成果和最新動(dòng)態(tài)，與潛在客戶面對(duì)面交流，一站式滿足上下游客戶需求，從而建立長(zhǎng)期穩(wěn)定的合作關(guān)系。觀眾可以深入了解MEMS制造領(lǐng)域行業(yè)動(dòng)態(tài)、學(xué)習(xí)先進(jìn)技術(shù)經(jīng)驗(yàn)、尋找優(yōu)質(zhì)的合作伙伴。

知名觀展參會(huì)企業(yè)（部分名單）

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目前展位火熱預(yù)定中

200+企業(yè)參展，持續(xù)更新中

第六屆中國(guó)MEMS制造大會(huì)

經(jīng)過連續(xù)五年的舉辦，China MEMS 中國(guó)MEMS制造大會(huì)已經(jīng)成為中國(guó)MEMS行業(yè)內(nèi)最知名的品牌會(huì)議之一，大會(huì)在推動(dòng)國(guó)際國(guó)內(nèi)MEMS技術(shù)創(chuàng)新和促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈資源整合方面發(fā)揮了關(guān)鍵作用。

本次大會(huì)設(shè)置的制造主題會(huì)場(chǎng)將完善上下游報(bào)告嘉賓資源，聚焦MEMS傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)，深度解析投資機(jī)遇、核心材料、關(guān)鍵設(shè)備、先進(jìn)設(shè)計(jì)、精密制造、高端封測(cè)及系統(tǒng)集成等核心環(huán)節(jié)。同時(shí)，大會(huì)將打造“MEMS+”概念，設(shè)立具身感知專題論壇，聚焦智能傳感器在工業(yè)與消費(fèi)領(lǐng)域的創(chuàng)新應(yīng)用，深入探討行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)對(duì)高性能傳感技術(shù)的核心訴求，推動(dòng)MEMS技術(shù)跨行業(yè)融合與規(guī)模化落地。此外，大會(huì)深度嵌入國(guó)際知名傳感器企業(yè)和行業(yè)組織，邀請(qǐng)海外企業(yè)高層共同探討MEMS產(chǎn)業(yè)國(guó)際合作新格局。

China MEMS 2025 擬受邀演講單位

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中國(guó)MEMS十強(qiáng)頒獎(jiǎng)

大會(huì)將表彰2024年中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的前十位企業(yè)，以龍頭企業(yè)為引領(lǐng)，激發(fā)MEMS行業(yè)良性競(jìng)爭(zhēng)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展活力，推動(dòng)中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)在全球范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)彎道超車。

第六屆MEMS創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽

大賽將采用“行業(yè)賽、地區(qū)賽相結(jié)合”的方式，先后在蘇州、西安、深圳、北京舉辦６場(chǎng)初賽，并將于10月21日在蘇州舉辦總決賽，展示MEMS領(lǐng)域的創(chuàng)新活力和創(chuàng)業(yè)熱情。

MEMS+游學(xué)行

蘇州工業(yè)園區(qū)已連續(xù)多年獲評(píng)“中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)第一園”，緣何蘇州可以集聚幾乎MEMS全產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)？作為MEMS設(shè)計(jì)/制造領(lǐng)域的年度盛會(huì)，組委會(huì)精心籌備了“MEMS+游學(xué)行”活動(dòng)，帶您走進(jìn)MEMS創(chuàng)新企業(yè)總部，了解MEMS產(chǎn)業(yè)沃土，親身體驗(yàn)科技的無限魅力！