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【視頻】西安交通大學副教授李強:六方氮化硼薄膜的磁控濺射制備及光電特性

視頻IFWS2025-01-10 11:58
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西安交通大學副教授李強做了題為射頻濺射技術制備h-BN薄膜的制作與應用的主題報告,分享了濺射制備的hBN膜,包括工藝條件的選擇,hBN的性質,以及hBN膜的應用,包括電阻開關行為等內容。 報告指出,所制備的hBN膜可以在大面積上獲得良好的光滑度。由BN和BAlN薄膜組成的DBR可以在UVA波段實現高反射。首先在Ag / hBN / Al結構中觀察到通過濺射制備的hBN膜的RS行為。摻鋁氮化硼薄膜的RS窗口明顯增加。
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