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大連理工大學(xué)教授王德君：SiC MOS器件氧化后退火新途徑——低溫再氧化退火技術(shù)

視頻IFWS2025-04-07 16:43

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SiC MOS器件氧化后退火新途徑低溫再氧化退火技術(shù)A new approach of post-oxidation annealing for SiC MOS devices -- the low-temperature re-oxidation annealing technology王德君大連理工大學(xué)教授Wang DejunProfessor of Dalian University of Technology

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