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中國科學院半導體所研究員趙德剛：平片藍寶石襯底上高質量AlN材料MOCVD外延生長

視頻IFWS > IFWS20222025-04-23 11:34
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平片藍寶石襯底上高質量AlN材料MOCVD外延生長High quality AlN growth on flat sapphire at relative low temperature by MOCVD趙德剛中國科學院半導體所研究員ZHAO DegangProfesor of Institute of Semiconductors, CAS
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