“單晶生長的工藝非常復雜，一根單晶的生長周期通常需要三天左右，對外部水、電和氬氣等動力條件的供應穩定性，甚至地面震動幅度的要求都很苛刻。母公司有研半導體在北京的工廠以前進行單晶生長時會出現液面不穩定，造成單晶斷棱出現位錯的情況，而這次在德州的新工廠，單晶是一次性拉制成功，整個過程也印證了這個廠房的建設達到了非常好的水準。”公司副總經理劉斌介紹說。

為了保證硅材料的生產質量，硅片加工工序的部分車間的潔凈度達到了一級標準，在項目的硅單晶拋光片生產車間，試生產的硅拋光片樣品將被陸續送往下游廠家進行驗證，驗證合格后將進入規模化量產。
 

“能夠這么順利，離不開當地政府對我們的支持。水電氣這些基礎設施，在我們項目還沒有進行廠區內部管網與外部供應點連接前，各供應單位就已經把外部管路建設到位，各項服務都走在了前面。這次試生產成功，讓我們企業對未來充滿信心！”公司總工程師肖清華說。

據了解，山東有研的母集團公司有研科技集團是國內有色金屬行業規模最大的綜合性研究開發機構，在國內率先實現了8英寸硅片的規模化生產。山東有研項目是德州承接北京高新技術產業轉移的省級重點項目，投資18億元人民幣，建筑面積約10萬平方米，項目建成投產后，將成為北方最大的半導體材料生產基地。目前，一期項目正進行收尾，130余臺套工藝設備陸續進場，部分工藝設備將進入試運行階段；二期12英寸硅片規模化生產項目也在積極籌備，計劃明年開工建設。