近日，蘇州芯慧聯半導體科技有限公司完成A輪融資，由上海東方證券資本投資有限公司、常熟大科園創業投資有限公司。本輪融資將主要用于集成電路3D化新技術路線中晶圓鍵合機的研制以及先進制程中尖端熱處理工藝設備的開發。
芯慧聯成立于2019年，是一家專注于半導體領域專用設備設計及技術研發的企業，主要面向泛半導體領域的生產制造企業，為其提供配套的工藝設備、零部件、系統單元以及技術服務支持。
蘇州芯慧聯半導體科技有限公司于2019年1月份簽約落戶常熟高新區。據當時常熟國家高新區消息，蘇州芯慧聯匯聚了泛半導體領域資深人士組成專業化團隊，主要研發、生產靜電卡盤(簡稱E-CHUCK、ESC)。ESC是半導體干法刻蝕、PVD、CVD等制造設備最為關鍵的專業夾具，不僅對產品合格率起決定作用，還能增加5%硅片有效面積，達到更高產出比，是“會卡脖子”的核心技術。公司擬開發生產的ESC能夠完全替代進口產品，投產后將實現半導體核心部件國產化零的突破。
