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【CASICON 2021】中電科五十五所劉強:碳化硅MOSFET技術問題及55所產品開發進展

日期:2021-09-17 來源:半導體產業網閱讀:529
核心提示:報告分析了目前碳化硅MOSFET技術主要面臨問題及解決方法,以及國基南方下一步進展及未來發展規劃。
9月13-14日,“2021中國(南京)功率與射頻半導體技術市場應用峰會(CASICON 2021)”在南京召開。本屆峰會由半導體產業網、第三代半導體產業主辦,并得到了南京大學、第三代半導體產業技術創新戰略聯盟的指導。
劉強
中電科五十五所高級工程師劉強帶來了題為“碳化硅MOSFET技術問題及55所產品開發進展”的主題報告。報告分析了目前碳化硅MOSFET技術主要面臨問題及解決方法,以及國基南方下一步進展及未來發展規劃。
 
SiC MOSFET器件對比Si IGBT具有開關損耗優勢顯著,可實現更低導通損耗等優勢。對比Si MOSFET具有電流密度更高,導通損耗低,全溫度區間變化小等優勢。
 
商用SiC肖特基二極管于2001、SiC MOSFET 2011年推出,目前已經超越“概念驗證”階段。SiC MOSFET產品技術已發展到第三代,采用新型柵氧、溝槽結構等技術,未來將向更大電流密度、更寬電壓范圍、更高可靠性等方向發展。
 
不過,目前SiC MOSFET還存在市場滲透率低的問題,商業化進程依然比較緩慢,特別是SiC MOSFET器件;目前市場規模不到硅電力電子器件的3%。主要原因是價格高,效率、降低系統成本等收益尚未充分體現;產品成熟度待提升,器件可靠性問題尚未完全解決;封裝和驅動等問題未完全解決,性能優勢未得到充分發揮。
 
SiC MOSFET產品成熟度也有待提高,其中,閾值電壓較低、廠家間差異大,長期穩定性問題仍需提升;柵極擊穿離散較大,柵氧介質的高溫長期可靠性仍需驗證;體二極管正向導通狀態下的雙極型漂移問題尚未完全解決。
 
目前國基南方在材料-芯片及器件設計-芯片制造-封裝-可靠性測試,擁有自主外延生長能力,目前供片能力超過3萬片/年,后續進一步擴產至10萬片/年,可以滿足600V-20000V 器件研發生產需求。芯片及器件設計方面擁有寬禁帶國家重點實驗室,專利受理300余項,其中發明專利超過200項,PCT 10項;R&D投入4500萬元/年,先后承擔并完成了多項國家SiC電力電子器件重大專項、科技部“重點研發計劃”等方面的研究課題;擁有6英寸SiC專用工藝線,國內最早實現6英寸SiC MOSFET量產,專業化的模塊封裝能力和先進的器件測試分析能力,可半導體功率模塊研制和批產,年產150萬只功率模塊。
 
報告同時介紹了國基南方下一步進展及未來發展規劃,將關注第二代SiC MOSFET產品開發,超高壓SiC MOSFET器件及模塊以及SiC集成電路。

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