日本少妇无码精品12P_亚洲综合熟女久久久30p_精品av中文字幕在线毛片_精产国品自在线www_91视频-全网资源最全平台_午夜好爽好舒服免费视频

寧波材料所研發(fā)氧化鎵基日盲紫外光電探測器的低溫制備技術(shù)

日期:2023-11-16 閱讀:315
核心提示:日盲紫外光電探測器在民生(如電網(wǎng)安全監(jiān)測、環(huán)境與生化檢測、森林火災(zāi)告警、醫(yī)學(xué)成像等)領(lǐng)域有重要應(yīng)用,是世界各國競相研發(fā)的

 日盲紫外光電探測器在民生(如電網(wǎng)安全監(jiān)測、環(huán)境與生化檢測、森林火災(zāi)告警、醫(yī)學(xué)成像等)領(lǐng)域有重要應(yīng)用,是世界各國競相研發(fā)的焦點(diǎn)。氧化鎵具有寬帶隙(可至4.9 eV)、地殼豐度較高(中國鎵儲(chǔ)量全球第一)、物理化學(xué)性能穩(wěn)定等諸多優(yōu)勢,是理想的日盲(截止波長~280 nm,對應(yīng)光子能量~4.42 eV)探測有源層材料。目前,氧化鎵日盲紫外探測器已取得一些重要的進(jìn)展,但工藝溫度普遍較高。相比外延或多晶薄膜材料,非晶半導(dǎo)體薄膜可低溫、大面積均勻制備,為實(shí)現(xiàn)大面積柔性應(yīng)用,氧化鎵低溫制備技術(shù)的研發(fā)勢在必行。然而,非晶薄膜難以致密化,其微結(jié)構(gòu)和化學(xué)計(jì)量比難以有效調(diào)控,導(dǎo)致氧化鎵有源層內(nèi)載流子濃度和氧空位等缺陷難以調(diào)控,同時(shí)器件的光響應(yīng)度和響應(yīng)時(shí)間也難以協(xié)同提高。

中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所科研團(tuán)隊(duì)近年來一直致力于氧化鎵薄膜及其日盲紫外探測器的制備及其物性的調(diào)控研究。前期,團(tuán)隊(duì)通過溶液法制備了具有較高紫外-可見抑制比的氧化鎵基探測器,其功耗可至pW量級。

近期,團(tuán)隊(duì)通過施加磁控濺射襯底偏壓輔助制備工藝,有效調(diào)控了非晶氧化鎵(a-GaOx)薄膜的表面粗糙度、相對質(zhì)量密度、折射率、帶隙和成分配比(鎵氧比)。在近室溫下制備的a-GaOx薄膜具有較少的各類缺陷態(tài),大幅提高了薄膜的致密度和載流子的遷移率,相應(yīng)日盲紫外探測器的光響應(yīng)度提高了460倍,并具有良好的光譜選擇性。

團(tuán)隊(duì)開發(fā)了金屬誘導(dǎo)低溫退火工藝,使得氧化鎵的結(jié)晶溫度降低200℃;提出了籽晶層和非平衡態(tài)聯(lián)合作用下的低溫誘導(dǎo)結(jié)晶機(jī)制,誘導(dǎo)后薄膜的致密度得到大幅提高,帶尾態(tài)、氧空位等缺陷態(tài)顯著降低,相應(yīng)光電薄膜晶體管探測器具有優(yōu)異的光譜選擇性,如圖1所示。

 

 

圖1 低溫結(jié)晶機(jī)理及探測器光電性能的測試

相關(guān)成果

Applied Physics Letters

Solution-processed amorphous Ga2O3:CdO TFT-type deep-UV photodetectors

DOI: 10.1063/5.0007617

Ceramics International

 

 

Substrate-bias-aided preparation and properties of amorphous gallium oxide films and their deep-ultraviolet photodetectors

DOI: 10.1016/j.ceramint.2021.08.105

The Journal of Physical Chemistry Letters

 

 

Low-Temperature-Crystallized Ga2O3 Thin Films and Their TFT-Type Solar-Blind Photodetectors

DOI: 10.1021/acs.jpclett.2c01852

 

專利

201811624877.2

202110538417.3

202111652029.4

 

項(xiàng)目支持

中科院國際伙伴計(jì)劃

浙江省自然科學(xué)基金重大項(xiàng)目

寧波市重大攻關(guān)

 

(來源:中國科學(xué)院寧波材料所、中國高科技)

打賞
聯(lián)系客服 投訴反饋  頂部
主站蜘蛛池模板: 狠狠躁18三区二区一区AI明星 | 欧美狠狠入鲁的视频 | 日日夜夜添 | 国产麻豆剧传媒精品国产AV | 亚洲精品无码久久毛片 | 99热亚洲色精品国产88 | 午夜视频a | 日韩国产一| 国产网址 | 欧美视频手机在线 | 亚洲裸体网站 | 91精品国产一区 | 久久经典免费视频 | 国产日韩欧美一区二区乱码 | 日韩高清亚洲日韩精品一区二区三区 | 国产一区高清在线 | 亚洲精品国产自产拍在线观看 | www亚洲精品少妇裸乳一区二区 | 国产在线精品区 | 精品久久高清 | 色偷偷偷亚洲综合网另类 | 黄色特一级片 | 日本无码久久久久久久 | 欧美一级特黄aaaaaaa视频片 | www.youjizz.com久久 | 国产裸体歌舞一区二区 | 日产中文字暮在线理论 | 国产综合色产在线视频欧美 | 老师你怎么会在这第2季在线观看 | 无码专区人妻系列日韩 | 老司机免费在线视频 | 国产午夜理论在线成人 | 国产精品久热 | 夜夜小视频| 97精品国自产在线偷拍 | XXXXX性BBBBB欧美熟妇 | 糖心VLOG精品一区二区三区 | 国久久久| 五月综合激情婷婷六月 | 久久久无码精品亚洲A片软件 | 亚洲国产日韩欧美综合专区 |