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北京大學申請大尺寸高熱導率III族氮化物外延材料的制備方法專利,提高整個異質集成結構的熱導率

日期:2024-03-06 閱讀:224
核心提示:據國家知識產權局公告,北京大學申請一項名為一種大尺寸高熱導率III族氮化物外延材料的制備方法,公開號CN117646275A,申請日期

 據國家知識產權局公告,北京大學申請一項名為“一種大尺寸高熱導率III族氮化物外延材料的制備方法“,公開號CN117646275A,申請日期為2024年1月。

專利摘要顯示,本發明公開了一種大尺寸高熱導率III族氮化物外延材料的制備方法,利用功能層和支撐層的鍵合襯底,先在功能層正面生長多晶金剛石,然后去掉支撐層,在功能層背面生長III族氮化物外延材料,獲得多晶金剛石與III族氮化物材料的異質集成結構。III族氮化物、功能層、多晶金剛石三者之間是直接生長成鍵連接,確保了聲子的傳播,并充分利用多晶金剛石高熱導率的優點提高了整個異質集成結構的熱導率;III族氮化物外延材料生長在復合襯底之上,不會受到破壞,保證了其性能;通過選取不同的鍵合襯底表面,可以控制生長金屬極性或氮極性的III族氮化物材料,滿足不同領域應用需求。本發明的制備方法對尺寸沒有限制,可以實現大尺寸批量化的生產。

 

 

 

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