尚積半導體于近日成功交付了一批12寸PVD&CVD薄膜沉積設備給國內某頭部客戶,標志著尚積半導體的產品成功躋身12寸半導體產線。本次尚積半導體交付的設備配備了高精度溫度、壓力、功率及氣流控制系統,確保沉積過程穩定可靠,成膜質量優異,產品性能、生產效率在行業內處于領先地位,可替代進口設備,并提供更優秀的工藝解決方案。
尚積半導體是一家專業研發、生產半導體國產自研設備的廠商。主營設備包括金屬濺射沉積(PVD)、加強型等離子化學氣相沉積(PECVD)、等離子干法刻蝕(ETCH)等,主要服務于功率器件、微機電系統、先進封裝、化合物半導體、射頻等領域的客戶。據介紹,尚積半導體在半導體產業的多個領域實現薄膜濺射設備的首次國產化突破和進口替代,刻蝕設備、沉積設備陸續通過驗證后交付,并獲得大量訂單。曾于2023年底順利完成了數億元規模的B輪融資。