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上海光通信申請半導體結構相關專利,縮小半導體結構線寬提高器件密度

日期:2025-03-20 閱讀:268
核心提示:國家知識產權局信息顯示,上海光通信有限公司申請一項名為半導體結構的制備方法及半導體結構的專利,公開號 CN 119626900 A,申

國家知識產權局信息顯示,上海光通信有限公司申請一項名為“半導體結構的制備方法及半導體結構”的專利,公開號 CN 119626900 A,申請日期為 2024 年 11 月。

專利摘要顯示,本公開實施例提供一種半導體結構的制備方法及半導體結構,涉及半導體結構技術領域。該半導體結構的制備方法包括:形成目標待刻蝕層和第一圖案化層,目標待刻蝕層包括依次疊置的第一硅化物層、第一多晶硅層和第二硅化物層;刻蝕目標待刻蝕層,得到第二圖案化層,第二圖案化層包括多個第二圖案;形成側墻和第二多晶硅層,側墻覆蓋各第二圖案的側壁,第二多晶硅層填充在側墻之間的間隙;去除第一多晶硅層上方的膜層結構,以及位于第一多晶硅層和第二多晶硅層之間的側墻;刻蝕襯底以獲得半導體結構。通過控制側墻的形成參數,可以控制相鄰的第一多晶硅層和第二多晶硅層之間的間隙,從而可以半導體結構的線寬進一步縮小,提高半導體結構的器件密度。

天眼查資料顯示,上海光通信有限公司,成立于1988年,位于上海市,是一家以從事軟件和信息技術服務業為主的企業。企業注冊資本2038786.497萬人民幣,實繳資本50000萬人民幣。通過天眼查大數據分析,上海光通信有限公司共對外投資了7家企業,參與招投標項目46次,財產線索方面有商標信息12條,專利信息16條,此外企業還擁有行政許可170個。

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