2021年1月3日上午10時(shí)，陳彤從車間察看設(shè)備后，回到位于四樓的辦公室，還沒(méi)來(lái)得及放下手中的安全帽，一位員工湊上前來(lái)，跟他探討起了設(shè)備調(diào)試問(wèn)題。
記者看到，所謂的辦公室只不過(guò)是在靠墻一角，擺放著幾張“十”字形四人位辦公桌，極為簡(jiǎn)陋，為了御寒，另一側(cè)還掛著防風(fēng)簾。
作為瀏陽(yáng)泰科天潤(rùn)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司董事長(zhǎng)，陳彤不是坐在辦公室遙控指揮，而是幾乎每天都泡在車間里。
“現(xiàn)在正是安裝調(diào)試、設(shè)備通線的關(guān)鍵時(shí)期，指揮員更要靠前指揮，深入一線，與員工一起干，盡快出產(chǎn)品，才能擁有市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，這是我們企業(yè)一貫的特點(diǎn)。”面對(duì)記者的疑惑，陳彤解釋道。
公司上下一心，也讓泰科天潤(rùn)瀏陽(yáng)項(xiàng)目建設(shè)跑出“加速度”。“2019年12月還是一片平地，之后開工打樁，5月土建封頂，8月進(jìn)行潔凈工程，10月設(shè)備到位安裝，預(yù)計(jì)今年1月15日可實(shí)現(xiàn)通線，具備投產(chǎn)能力。”陳彤說(shuō)，按常規(guī)速度，一個(gè)芯片項(xiàng)目從土建到通線，需要兩到三年才能做到。
瀏陽(yáng)泰科天潤(rùn)碳化硅芯片項(xiàng)目
泰科天潤(rùn)瀏陽(yáng)項(xiàng)目位于瀏陽(yáng)經(jīng)開區(qū)（高新區(qū)）新能源標(biāo)準(zhǔn)廠區(qū)內(nèi)，如今90%的生產(chǎn)設(shè)備已到位，大部分設(shè)備處于工藝調(diào)試階段。要知道，在芯片制造領(lǐng)域，來(lái)自不同供應(yīng)商的精密設(shè)備要融入生產(chǎn)線、轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力，并非易事。
“設(shè)備調(diào)試過(guò)程中，天天都有新的問(wèn)題產(chǎn)生，需要產(chǎn)品、工藝、設(shè)備、動(dòng)力等各個(gè)專業(yè)方向的工程師團(tuán)隊(duì)協(xié)同合作、共同解決。”陳彤說(shuō)，生產(chǎn)線包含了上百種設(shè)備，就是一臺(tái)交響樂(lè)晚會(huì)，各個(gè)聲部之間默契配合，樂(lè)曲才能和諧動(dòng)聽。
為了盡快實(shí)現(xiàn)設(shè)備通線，今年元旦假期，泰科天潤(rùn)沒(méi)有放假，“每天都有100多人在現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試設(shè)備，5~8個(gè)專業(yè)團(tuán)隊(duì)圍著一臺(tái)設(shè)備轉(zhuǎn)，從單臺(tái)試調(diào)到幾臺(tái)聯(lián)調(diào)，再到產(chǎn)線聯(lián)調(diào)。”陳彤說(shuō)。
通線后，并不意味著就能正式量產(chǎn)，還需要經(jīng)過(guò)試產(chǎn)。“芯片制造就像是微觀意義上的建房子，一層一層往上蓋，只不過(guò)我們是微米級(jí)和納米級(jí)的，而且是在沒(méi)有標(biāo)尺的前提下去建。”陳彤說(shuō)，制造過(guò)程中，溫度、設(shè)備狀態(tài)、動(dòng)力條件、周邊環(huán)境的變化都可能對(duì)芯片質(zhì)量產(chǎn)生影響，因此前期需要大批量的試制，不斷試錯(cuò)，質(zhì)量穩(wěn)定后倒推工序，最后固化工藝。
一番交談后，陳彤帶著記者前往泰科天潤(rùn)的無(wú)塵車間參觀，該車間主要制造6英寸碳化硅功率芯片。芯片屬于精密制造，車間必須是恒溫恒濕的，建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)為百級(jí)潔凈，即每立方米空氣中直徑大于等于0.5微米的灰塵粒的數(shù)量少于100個(gè)。
在無(wú)塵車間門口，記者換上一套無(wú)塵服，從頭武裝到腳，再經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室，才進(jìn)入車間。一條數(shù)十米長(zhǎng)的操作走廊展現(xiàn)在眼前，地面用鋁制架空地磚鋪設(shè)，兩側(cè)幾個(gè)小車間中，離子注入機(jī)、碳膜濺射、刻蝕機(jī)、光刻機(jī)等國(guó)際尖端關(guān)鍵設(shè)備已在現(xiàn)場(chǎng)安裝和調(diào)試。
在刻蝕機(jī)所在的小車間，幾名工程師正在安裝調(diào)試設(shè)備。大如拇指、小如電線的管道貼著天花板布置，密密麻麻的如同蛛網(wǎng)，墻壁上各類儀表盤有上百個(gè)。“這些管道既有數(shù)十種特氣管道，也有各種給排水管道和電纜線路。”陳彤介紹。
記者在現(xiàn)場(chǎng)也見(jiàn)到了還未制作成芯片的碳化硅晶圓，形狀大小如同一塊CD光盤。陳彤告訴記者，泰科天潤(rùn)主要生產(chǎn)的是功率芯片，目前已廣泛應(yīng)用于大功率LED電源、通信電源、光伏逆變器，服務(wù)新能源汽車、充電樁、高鐵等領(lǐng)域。
“我們力爭(zhēng)春節(jié)前投產(chǎn)，整個(gè)項(xiàng)目投產(chǎn)滿產(chǎn)后，年產(chǎn)值預(yù)計(jì)13億至14億元。”陳彤說(shuō)，泰科天潤(rùn)瀏陽(yáng)項(xiàng)目建成滿產(chǎn)后可實(shí)現(xiàn)6萬(wàn)片/年的6英寸碳化硅功率芯片生產(chǎn)及銷售。
這意味著，泰科天潤(rùn)瀏陽(yáng)項(xiàng)目一旦投產(chǎn)，將打造一條極具市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的碳化硅功率器件生產(chǎn)線。依托這樣爭(zhēng)分奪秒的發(fā)展速度，泰科天潤(rùn)有信心以最快的速度改變歐美國(guó)家對(duì)我國(guó)高端功率器件的長(zhǎng)期壟斷格局，突破行業(yè)領(lǐng)域技術(shù)壁壘等問(wèn)題。
記者手記
換道競(jìng)速往前跑
采訪中，陳彤多次提到，投資體量不是終極意義，尤其是在芯片行業(yè)。“芯片研發(fā)就像是一場(chǎng)馬拉松，參賽的人必須有韌勁、有耐力，即使在沒(méi)有榮譽(yù)的前提下，還要堅(jiān)定地朝著客戶需求目標(biāo)持續(xù)投入，往前跑。”
這一番話，也描繪出芯片行業(yè)的特點(diǎn)：投資大、研發(fā)周期長(zhǎng)，買不來(lái)，急不來(lái)。這就需要芯片企業(yè)耐得住寂寞，沉下心來(lái)做技術(shù)沉淀，即使這一沉淀周期可能是十年甚至更長(zhǎng)，也只有這樣，才不會(huì)被“卡脖子”。
泰科天潤(rùn)的發(fā)展路徑也給中國(guó)芯片企業(yè)帶來(lái)了啟示。相比美國(guó)、日本、歐洲等國(guó)家和地區(qū)的芯片企業(yè)，中國(guó)芯片行業(yè)基礎(chǔ)薄弱、起步晚，如果中國(guó)企業(yè)還在同一賽道與這些國(guó)家和地區(qū)的企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)，毫無(wú)優(yōu)勢(shì)可言。
如今，國(guó)家大力發(fā)展第三代半導(dǎo)體，泰科天潤(rùn)就切入了另一賽道——碳化硅為基底的功率芯片，與國(guó)外品牌一較高下。經(jīng)過(guò)多年的積累與沉淀，泰科天潤(rùn)成長(zhǎng)為國(guó)內(nèi)首家碳化硅芯片企業(yè)，也有勇氣和底氣在國(guó)際市場(chǎng)與海外品牌掰手腕了。
我們也相信，在國(guó)家給足政策、資金的當(dāng)下，中國(guó)企業(yè)加快芯片行業(yè)的核心技術(shù)、底層技術(shù)的研發(fā)和突破，必將在芯片領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)從跟跑到并排跑，甚至在某些垂直領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)領(lǐng)跑。
