偏振光探測(cè)與成像技術(shù)在遙感成像、機(jī)器視覺、復(fù)雜背景目標(biāo)識(shí)別等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用，近年來在天體物理和海底地震波探測(cè)等方面也展現(xiàn)出豐富的信息獲取能力。在不同波段中，日盲紫外波段具有低噪聲背景、高信噪比和較強(qiáng)的抗干擾能力。然而相對(duì)于商用可見光偏振圖像傳感器芯片而言，日盲紫外偏振光探測(cè)器由于難以制備高透光率、高消光比和強(qiáng)抗輻射能力的紫外偏振片，其發(fā)展受到一定限制。寬禁帶半導(dǎo)體材料氧化鎵（β-Ga2O3）由于其超寬帶隙（~4.85 eV）和低對(duì)稱性的單斜晶體結(jié)構(gòu)，有望在日盲紫外波段實(shí)現(xiàn)偏振光的直接探測(cè)。

最近，中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所魏鐘鳴團(tuán)隊(duì)與合作者一起，在基于β-Ga2O3的日盲紫外偏振光探測(cè)器方面取得新進(jìn)展。該工作首先從電子躍遷概率上理論分析了β-Ga2O3實(shí)現(xiàn)各向異性日盲紫外偏振光吸收與響應(yīng)的物理機(jī)制（圖1）。基于商業(yè)化β-Ga2O3單晶襯底制備出偏振光探測(cè)器，通過使用不對(duì)稱電極材料（Ti/Au和Pt/Ti/Au）的肖特基光電二極管結(jié)構(gòu)，在肖特基勢(shì)壘處形成的內(nèi)置電場(chǎng)獲得明顯的整流特性。實(shí)驗(yàn)上發(fā)現(xiàn)，基于（010）和（001）晶面β-Ga2O3的光電探測(cè)器對(duì)日盲紫外光均表現(xiàn)出偏振角依賴性，偏振光電各向異性比分別為1.2和5.8。經(jīng)歸一化處理后，發(fā)現(xiàn)β-Ga2O3沿不同晶軸的偏振光電流之間關(guān)系為c軸>a軸>b軸，與理論分析的光躍遷概率關(guān)系一致。該器件不用受常規(guī)紫外偏振片技術(shù)加工難點(diǎn)的限制，有效實(shí)現(xiàn)了日盲紫外波段的偏振光吸收與探測(cè)。

在晶面分析的基礎(chǔ)上，魏鐘鳴團(tuán)隊(duì)與北京大學(xué)劉開輝教授和山西大學(xué)韓拯教授等人合作實(shí)現(xiàn)了一種（100）晶面β-Ga2O3 納米帶的生長(zhǎng)及無(wú)偏振片日盲紫外偏振光探測(cè)器件。通過納米帶的形貌提升各向異性，該偏振光探測(cè)器在 254 nm 線性偏振光下顯示出高偏振比，比β-Ga2O3體材料單晶和其他報(bào)道的低維材料偏振光探測(cè)器高 1~2 個(gè)數(shù)量級(jí)（圖2），并且演示了基于偏振態(tài)編碼的三進(jìn)制紫外光通信。這種通過構(gòu)筑寬禁帶微納結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)日盲紫外偏振光探測(cè)的策略，展示出在日盲紫外偏振成像和偏振光通信領(lǐng)域的潛在應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。

圖1  β-Ga2O3 各向異性的晶體堆積和能帶結(jié)構(gòu)

圖2  基于（100）晶面β-Ga2O3納米帶的日盲紫外偏振光探測(cè)器

原文鏈接：https://onlinelibrary.wiley.com/doi/abs/10.1002/adma.202406559

信息來源：半導(dǎo)體所