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富加鎵業氧化鎵MOCVD同質外延片性能再創新高

日期:2025-06-09 閱讀:622
核心提示:經國家權威檢測機構——中國計量科學研究院測試表明,厚度超10μm的氧化鎵同質外延片載流子濃度為4.2E16cm-3,遷移率達到181.6cm2/V·s。

 近日,杭州富加鎵業科技有限公司(以下簡稱:富加鎵業)在氧化鎵MOCVD同質外延技術方面再次取得突破,經國家權威檢測機構——中國計量科學研究院測試表明,厚度超10μm的氧化鎵同質外延片載流子濃度為4.2E16cm-3,遷移率達到181.6cm2/V·s。基于MOCVD技術的高質量氧化鎵同質外延片的研制成功,將有效助力氧化鎵高壓大功率電力電子器件產業的快速落地。

2025年3月,富加鎵業基于自主生產的氧化鎵襯底產品,利用MOCVD技術,已經實現了10μm以上厚度的氧化鎵同質外延片遷移率達到172.7 cm2/V·s技術重大突破(富加鎵業氧化鎵MOCVD同質外延技術取得突破,助力下游垂直功率電子器件產業落地);在此基礎上,研究人員進一步優化了MOCVD外延過程中背景雜質控制,精確調控摻雜濃度,提升氧化鎵同質外延薄膜質量。相關標準化外延產品(規格書如下)已于2025年6月同步上市,更好服務于氧化鎵器件廠家及下游用戶。

杭州富加鎵業科技有限公司成立于 2019年 12 月 31 日,是杭州光學精密機械研究所注冊成立的第一家“硬科技〞企業,公司以“讓世界用上好材料”為愿景,開展寬禁帶半導體氧化鎵材料的產業化工作,核心產品為氧化鎵單晶襯底、MOCVD外延片、MBE外延片、氧化鎵晶體生長及加工裝備,產品主要服務于功率器件、微波射頻及光電探測等領域。2022年獲得浙江省科技型中小企業;2023年獲得國家高新技術企業;2024年獲得杭州市企業高新技術研發中心及浙江省專精特新中小企業;2025年獲得ISO9001質量體系認證(編號:20225Q20294R0M);在氧化鎵領域,承擔了國家發改委項目1項,國家工信部項目1項,參與了國家自然科學基金委、浙江省、上海市等國家及省部級項目3項。另外,獲得國際專利授權12項(美國6項,日本6項),國內專利授權40項,“富加鎵業”商標認證注冊3項,軟件著作權(“一鍵長晶”控制軟件)4項。

 
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