精密裝備通常指加工工藝中精度達到微米級的裝備，超精密裝備通常需要達到微米級甚至納米級以上。超精密裝備是今天先進制造的基礎，同時也是若干高技術產業的關鍵組成部分，如集成電路、顯示、航空航天、儀器儀表、高端機床等。這些產業中超精密裝備的水平對該產業的發展水平有決定性影響。超精密裝備還是現代科學、技術和工程實踐成果的結晶，其發展是一個不斷迭代進步的歷史過程，需求牽引、科技進步和工程師的關鍵技能（know-how）積累缺一不可。時至今日，超精密裝備產業基本被發達國家的少數企業壟斷。超精密裝備產業比較薄弱，也是中國作為全球第一制造業大國但還不是制造強國的重要原因之一。文章分析了當前我國超精密裝備產業發展的現狀和存在的主要問題，以及這些問題產生的原因。面對劇烈變化的內外環境，提出了抓住機遇、迎接挑戰的具體工作建議。
人類對“精密”的理解是一個歷史的發展過程。隨著科學與技術的進步和工業化的深入，20世紀之后的工業技術中對“精密”的理解開始量化，與相關測量與控制中的精度要求毫米、微米、納米等聯系起來。目前，通常將加工工藝中精度達到微米級的裝備稱為精密裝備，達到微米級甚至納米級以上要求的裝備稱為超精密裝備。
超精密裝備是當今先進制造的基礎。何為先進制造？其中一個最直接，也是最根本的判斷就是制造流程或工藝與超精密裝備密切相關，或使用超精密裝備進行加工制造，或需要超精密裝備生產出的元器件提供支撐。盡管大量生產制造領域中的工藝要求不直接涉及“超精密”，但今天所有先進制造裝備中的加工、控制、檢測和自動化、數字化、智能化都需要大量超精密裝備才能批量生產制造出來的元器件，如集成電路芯片和傳感器。沒有超精密裝備，先進制造就是一句空話。
超精密裝備是若干高技術產業的關鍵組成部分，例如，集成電路（微電子）產業、顯示產業、航空航天產業、儀器儀表產業、高端機床產業等。以集成電路產業為例，其主要加工工藝流程中的裝備（有數百種）都是超精密裝備。這些產業中超精密裝備的水平對該產業的發展有決定性影響。
超精密裝備也是人類科學、技術和工程經驗長期發展積累的結果，更是現代科學、技術和工程實踐成果的結晶。特別是機械工程、光學與光電子學、自動控制（人工智能）和材料科學與技術，當前任何一臺超精密裝備的研發與生產都至少需要上述4個學科的先進技術成果提供支撐。不僅如此，超精密裝備的發展還是一個不斷迭代進步的歷史過程，需求牽引、科技進步，以及工程師和能工巧匠的關鍵技能（know-how）積累缺一不可。正因為有這些特點，超精密裝備產業基本上被美國、日本、歐洲等少數發達國家和地區的少數企業所壟斷。
中國已經是全球第一工業制造大國，但還不是制造強國。之所以不是制造強國，最重要的原因就是超精密裝備產業還比較弱小，造成相關產業受制于人。在以美國為首的發達國家對我國實施技術圍堵和封鎖的背景下，所謂“卡脖子”問題的核心正是一系列超精密裝備，以及與之相關的關鍵零部件、元器件和基礎材料。如何使我國的超精密裝備產業能夠在“十五五”時期有長足進步和發展，爭取在若干關鍵點上有突破，顯然是我國工業界和科技界的重要任務。
筆者邀請了一批業內專家就各自領域對超精密裝備的需求、研發和產業化進展、存在的問題及下一步工作的建議撰文論述。這些專家都曾是相關國家科技重大專項一線攻關的領軍者，有切身體會和深入思考。由于超精密裝備產業的發展特別需要長期資本和耐心資本的支持，筆者還邀請了一位對相關問題有深入研究的經濟學家撰文專題討論。
1、現狀與問題
新中國成立以來，中國共產黨領導下的中國人民經過幾十年的艱苦奮斗，到2010年中國成為擁有全部工業門類的第一制造業大國。第一工業制造大國支撐了中國這個人口大國實現“小康”目標；也帶動了中國的裝備產業高速發展。就一般裝備而言，中國的裝備產業和制造能力已是世界上最大的。特別是黨的十八大之后，以習近平同志為核心的黨中央明確提出了科技和產業發展要自立自強的一系列大政方針，今天中國的制造業占比已超過全球的30%，被公認為產業升級最成功的國家之一。中國龐大的制造業能力和高速發展勢頭還引起了傳統制造強國的發達國家的恐慌，成為近年來國際環境變化的重要原因之一。
在看到成績、堅定信心的同時，我們也深刻體會到從制造業大國走向制造業強國的歷史進程中面臨的問題。其中最大的問題之一就是超精密裝備，這里不僅有科學、技術和工程經驗問題，也有組織管理問題。例如，今天的現代工業有三大基礎：能源、材料和芯片（集成電路）。就產業能力和水平而言，目前我國差距比較大的是芯片。在芯片產業中最缺的就是核心裝備，如光刻機。光刻機和芯片產業中的許多核心裝備都是超精密裝備的典型代表。在很多與先進制造相關的產業中都有類似問題。怎樣才能造出、造好（包括批量生產）這類超精密裝備，進而發展出中國強大的超精密裝備產業？“十一五”以來，特別是2008年第1批國家科技重大專項啟動之后，積累了很多經驗，也暴露出不少問題。
制造業的全球布局與4類企業、3支技術隊伍和“演兵場”
隨著科技進步、生產效率的提高和資本對更多利潤的追逐，制造業企業逐步按專業分工發展成為四大類。第1類是生產制成品的企業，面向終端消費者；第2類是生產能源、材料和零部件的企業；第3類是生產工具和裝備的企業；第4類是生產高端裝備和特殊材料與工具的企業，其中超精密是高端裝備的重要部分。這種分工是歷史趨勢下企業逐步發展而形成的。二戰之后，伴隨著全球化進程，這種分工還很快跨出國門。時至今日，第1類、第2類企業已大量分布于發展中國家；第3類企業除中國外，只有俄羅斯還殘存一部分；第4類企業則幾乎全部集中在發達國家。本文所討論的超精密裝備，涉及的主要就是第4類企業。
從產業規模、企業數量和就業人數上看，第1、2類企業是工業制造業的主體，而第3、4類企業則需要較多的技術積累與支撐，尤其第4類企業則更是有能力集成相關學科與技術發展的最新成果。這種全球化條件下的產業分工和技術分布其實也決定了利潤分配，第4類企業雖然數量少、規模也不大，但其產品附加值高，利潤率也要比第1、2、3類企業高很多。這類企業是政府科技政策的重點支持和保護對象，也是產業和貿易政策的重點控制對象。
進一步分析超精密裝備的研發、生產制造和不斷迭代進步所涉及的技術隊伍，依照其主要工作內容可分為3類：
1.用裝備的隊伍。保證充分發揮現有超精密裝備的能力和效率，同時指出面臨的問題，為其完善和進一步發展指明方向。
2.造裝備的隊伍。集成已掌握的技術去研發、設計、制造和量產裝備。
3.關鍵技術研發隊伍。專門從事超精密裝備所涉及的關鍵基礎技術研發，如精密機械、工程光學、自動控制與人工智能、先進材料等。
要造出能用、好用且有競爭力的超精密裝備，必須有上述3支隊伍長期、穩定、密切的合作，而要做到非常不容易。盡管國別不同，發達國家的第4類企業都用各自的方式保證了3支隊伍的合作。我們常講的體制機制保障，目標也是為了促成和保證3支隊伍的合作。
作為后發國家和追趕者，要完善超精密裝備的研發環境，還有一項重要的工作是要有“演兵場”（也稱之為“試驗線”或“驗證線”），其原因基于以下3點事實：
1. 超精密裝備一定是多項先進技術的集成，極其復雜，不可能一次研發就達到實際使用要求，必須有試驗考核和迭代進步的機會，否則不可能進入生產線實際使用。
2. 國外的第4類企業是跟著領域開拓者的領先企業一路發展起來的，由此積累了大量制造、檢測、聯線、試生產和改進的關鍵技能（know-how），這些東西只能在“干中學”，在不斷的試錯和改進中進步。不補上這一課，無法得到裝備使用企業的信任。
3. 超精密裝備的考核驗證和聯線調試需要對應用環境進行模擬和再現，這在實驗室中一般無法完成；裝備研發生產企業一般也不具備這樣的條件，要建設并維持這樣的條件遠超裝備研發生產企業的能力。這3點是眾多裝備研發生產企業不敢進入超精密裝備領域的根本原因。同時，也是相關的基礎技術研究（第3支隊伍）無法持續與深入的根本原因。由此造成的阻隔是一個惡性循環，不破除這個惡性循環，發展超精密裝備產業就是一句空話。
內外環境變化與影響
當今世界是一個地緣政治不確定性上升、國家與民族間沖突激化的世界；是一個財政赤字高企，貿易摩擦不斷的世界；是一些主要國家貧富差別擴大、內部矛盾加劇、不穩定因素增長的世界。二戰以來，全球化格局已經發生重大變化，而超精密裝備作為科技和產業全球化的直接產物，其研發、生產和應用都受到了國際環境變化的重大影響。
改革開放40多年來，中國制造業能夠不斷擴大規模，并且不斷向中高端產品和產業進軍的一個重要原因，就是部分國外的先進技術、原材料、零部件、裝備，甚至生產線能夠進入中國。超精密裝備的一些相關領域也是如此。2010年后，國際環境開始變化，2017年特朗普就任美國總統之后對華發動“貿易戰”“科技戰”使變化加劇。時至今日，在美國帶領下發達國家都在試圖“封鎖”和“圍堵”中國。那種主要生產設備全部從發達國家的第4類企業買進，利用中國的市場優勢和配套優勢迅速實現量產并不斷擴大規模，如中國的LED照明產業、中國的LCD顯示產業等，使終端產品橫掃世界的大環境已不復存在。西方國家在用于加工制造的超精密裝備整機的出口管制中，一直對中國出口有明文限制，先有“巴黎統籌委員會”（簡稱“巴統”），后有《關于常規武器和軍民兩用物品和技術出口管制的瓦森納協定》（以下簡稱《瓦森納協定》），而且越來越嚴酷，范圍也越來越大；涉及的關鍵材料、零部件和元器件也越來越多。這種“封鎖”和“圍堵”近年來還擴大到了技術交流和人才培養，個別國家的政府明令不許科技人員來中國參加學術活動和產品展示，甚至不許接待中國科技人員交流訪問。
國際環境變化極大地提高了中國產業隊伍和科技隊伍的危機意識，更證明了黨中央提出高水平科技自立自強的英明與正確。在舉國上下的共同努力下，我國的部分超精密裝備產業開始加速成長，并且保持著十分強勁的發展勢頭。例如，根據中國集成電路產業創新聯盟的統計，2008—2023年的15年間，我國集成電路國產裝備和材料的銷售額分別增長了41.6倍和9.64倍，達到707億元和704億元，2024年估計銷售額都超過了1000億元。由于美國的對華“科技戰”，自2018年以后中國的國產集成電路裝備零部件產業開始迅速增長，到2023年的年復合增長率達到65%，估計2024年的銷售收入已超過300億元。
這些結果證明了超精密裝備產業的2個突出特點。
1. 典型的應用牽引，沒有應用需求，或者應用需求不在自己手里（都給了發達國家的第4類企業），中國的超精密裝備產業不可能發展起來；
2. 超精密裝備產業是典型的綜合實力比拼，是多產業、多技術、多學科的綜合，必須下大力氣把各方面的力量組織起來，共同奮斗才能有好結果已成為大家的共識。
在看到發展成績、堅定奮斗信心的同時，更要看到差距和不足。以美國為首的發達國家對中國的“封鎖”和“打壓”不可能在短期內結束。盡管不同時期、不同國家和不同領域的對華關系會有變化，而良好的外部環境最根本的還是要靠自己的實力去爭取和創造。我國的超精密裝備產業和科技界對存在的問題已有越來越清醒的認識。這些問題集中體現在5個方面。
1、國產超精密裝備遠遠不能滿足相關產業生產制造的現實需求
例如，2018年以后，中國每年進口的集成電路芯片都超過2000億美元，特別是優于28nm的所謂先進制程芯片大部分要到國外加工；航空航天領域的許多超精密加工也還強烈依賴進口裝備。在超精密裝備相關的許多產業中，如集成電路、高端機床和高端儀器儀表等，中國還不是制造大國，離制造強國則差得更遠。發達國家對中國在超精密裝備方面的限制嚴重影響著我國的經濟發展和國家安全。
2、如果按照國際標準來衡量，中國在超精密裝備領域還沒有能夠集成最新技術發展成果的第4類企業
盡管近年來我國一些企業也生產出超精密裝備并進入生產線，但這些企業在技術水平、創新能力、研發投入、市場占有率等諸多方面與發達國家的對標企業還有巨大差距。如何培植中國自己的第4類企業，還有大量工作要做，需要長期艱苦奮斗。
3、在超精密裝備涉及的諸多領域中，如何讓使用裝備、造裝備和關鍵基礎技術研發這3支隊伍長期、穩定地密切合作，還缺乏有效的體制機制保證
產、學、研、用結合“喊”了幾十年，中央政府和地方設立了很多相關項目，投入了大量資源，也有若干成功的案例，但在超精密裝備領域總體上看，現實和潛在的“卡脖子”問題還大量存在。
4、相關基礎科學研究和技術積累方面還有明顯差距
作為后來者和追趕者，我國的工程制造經驗往往只有幾年、十幾年，積累就更不足。研發隊伍和后備軍雖然體量不小，但隊伍分散，大量研發是低水平重復，裝備水平和實驗條件不配套，難以承擔高水平的系統性研發工作。
5、在技術路線和發展方式上迄今為止還幾乎全是嚴重的“路徑依賴”
體現為沿著發達國家走過的途徑走，缺啥補啥，進口替代，這種方式造成的研發和產業工作思維方式很難改變。
2、問題產生的歷史與現實原因分析
上述問題的產生有其深刻的歷史和現實原因。作為一個發展中國家，中國在現代工業的前兩大基礎（能源和材料）方面總體走到世界前列大約用了60年，而我們在超精密裝備方面有明確遠大任務目標的攻關，應該說是進入21世紀之后才真正開始，標志是2008年啟動第1批國家科技重大專項。中國在超精密裝備要走到世界前列，還需要幾十年的艱苦奮斗。
對裝備產業重視不夠
在承認歷史原因的同時，我們更應認真反思現實問題。社會各界對產業的關注與支持通常只集中在直接面對消費者和社會需求的第1、2類企業，具體包括工藝改進、效率提升、質量提高，直至產品和生產過程的代際跨越。相應的裝備需求一般都留給企業自己去解決，或者認為只要給了錢企業就能夠解決。至于企業的裝備需求如何與相關學科和技術的發展成果對應，如何促進相關裝備產業的發展等問題，即便是在分工高度發展和產業鏈充分拉長的今天，這些問題也是第1、2類企業無法完成的任務。這種現象常被業內戲稱為“3個饅頭”——大家都只關心使人吃飽并感覺良好的第3個“饅頭”，但第1、2個“饅頭”從哪來無人過問。政府的研發、技術改造等項目無論是支持規模還是商業信貸支持規模，裝備產業得到的支持都要小很多。這是裝備產業中的許多企業如機床企業生存艱難，工程技術人員收入偏低，難以吸引和留住優秀人才的重要原因。
對裝備產業的重視不夠也反映在高校和研究機構的學科建設、基礎研究、實驗條件及人才培養上。進入21世紀以來，我國的科研投入和高等教育投入穩步增長，許多高校和研究機構的研發工作與裝備水平迅速進入世界前列，但相對而言超精密裝備直接相關的核心學科如精密機械工程、光學工程、精密加工檢測等，不僅項目少，實驗條件和裝備的改善也大幅度落后，很難承擔并完成真正解決實際問題的超精密裝備研發任務。我國還沒有一個比較完善的機床實驗室，能夠為超精密機床提供完整的測試和驗證考核條件；也沒有集成電路芯片生產裝備和顯示器生產裝備的驗證（試驗）線，為裝備企業研發生產的新裝備提供檢測、調試和聯線的條件。由于缺少必要的研發項目和實驗條件，大部分培養出的碩士博士沒有接觸過實際的工程任務，機械工程畢業的博士不會制圖之類的“笑話”屢見不鮮。
普遍的急功近利
為什么裝備產業得不到重視？最主要原因就是近30年來全社會普遍的急功近利思想。裝備產業的績效要通過其他產業的發展來體現，而超精密裝備從任務的提出到技術集成、樣機研發、迭代驗證，再到最終成為實用、好用的產品更是一個漫長的過程，遠遠超過通常的項目支持期限，也超過所謂的職責任期。為了得到項目，基層單位往往是“編故事”，講“空話”“大話”，生搬硬套大目標，拿到項目后再設法蒙混過關。這種情況下，拼湊成果，如關鍵元器件用國外產品，修改指標，甚至弄虛作假的事例時有發生。總體表現就是項目立了，表面上看內容也對路，但就是解決不了實際需求問題，解決不了根本性問題。
急功近利的另一類表現就是對國產裝備的不信任，對國產超精密裝備更是如此。一些加工制造要求較高的產業一旦有裝備需求，首選進口裝備，除非進口受限或者價格實在太高，售后服務跟不上。用不起。我國高端制造業真正開始下定決心從長計議，為國產超精密裝備打開應用大門的還是在2017年美國特朗普政府發動對華“貿易戰”和“科技戰”之后。但多年形成的裝備靠進口的思維慣性至今依然存在，在基層單位，包括企業和院校、研究機構，體現為能買進口的還是買進口的，在政府部門則體現為能買到的就不支持研發。
缺乏系統的組織管理
一項產業技術要能真正用到大規模生產制造過程中，即使它的基礎理論問題已經解決，也還要經過技術實現研發、應用研發、技術集成研發（形成裝備），最后才能推進到產品生產。發達國家的第4類企業之所以能在全球市場中站住腳，原因就是他們的技術利用各自的渠道走完了這幾步。這類企業大都集中在發達國家，也就意味著走完這幾步目前還只能在發達國家完成并形成鏈條。從體系化和合理分工的角度來看，應該是高校和科研院所做前兩步工作，而后兩步由專業性更強的大院大所和有實力的企業來做。中國的許多高校和研究機構也在做前兩步的工作，但除了國防軍工系統之外還沒有形成鏈條，沒有形成完整、穩固的體系。新中國成立之初，我國學習借鑒蘇聯模式，由工業領域相關部委統籌領導，對所屬高校、科研院所和重點企業實施直接管理，其優勢和成功之處也是創造并保證了用裝備、造裝備和基礎技術研發的3支隊伍密切合作。
如今情況已完全不同，以集成電路和顯示產業為例，第1支隊伍主要集中在幾家大企業；第2支隊伍主要由部委改制院所和海外有過第4類企業工作經驗的技術骨干領軍創建；第3支隊伍主要集中在高校和專門研究機構，如中國科學院等。這3支隊伍往往分處不同地域、不同組織、不同資源渠道，以及不同體制、不同管理機制之下。常見的是每個基層單位都力求以我為中心，將其他隊伍當陪襯或“伙計”，力爭將盡量多的資源拿到自己手里。爭取項目時都說團結奮斗，碰到困難和爭議時往往攬功推過，把應該共同發展的“命運共同體”當作一事一議的短期“利益共同體”。進入21世紀以來，20多年的發展歷程使大家深刻體會到，3支隊伍各自為戰、單打獨斗的結果是誰都很難過，迫切需要探索一條能夠充分發揮需求優勢和舉國體制優勢的發展道路。
超精密裝備產業發展缺乏系統組織管理，從另一方面集中反映在攻關項目中很難把系統工程管理和質量管理的要求落到實處。任何一臺超精密裝備的研發生產制造和進入實際應用都是一個復雜的系統工程；考慮到整個產業制造鏈就更是一個大系統，需要研究、部署、探索和解決的問題更多，工作量巨大。僅憑政府產業和科技管理部門的少數人和短期聘用專家是遠遠不夠的，根本無法保證把基本要求落到實處。航空航天和國防軍工部門的“業主制”“兩總制”、質量保證體系等經驗值得超精密裝備產業認真學習借鑒，沒有類似的組織構架、隊伍配備和資源、制度保證，文實不符、敷衍搪塞、弄虛作假，最終無法交賬等組織管理問題不僅難以防治，未來還會反復出現。
評價體系問題
人們對評價體系的問題議論很多，詬病也比較多。在超精密裝備產業及相關主要技術領域，這些反映主要集中在3個方面。
1.導向偏差。評價的結果往往既不是問題導向——問題實際上沒有得到解決，至少是沒有很好地解決；也不是目標導向——確定的目標沒有實現。評價所依據的所謂階段性成果——如文章、專利、獲獎等離真正解決問題、實現目標還差得很遠，而收獲者卻得到了很多，包括“帽子”“位子”，也包括繼續得到資源和配置資源的權利。
2.不負責任。評價體系中往往只有肯定的一面，只能表揚，不能批評，結果是互相吹捧，大話滿天，解決不了實際問題，也沒有人真正承擔責任。
3.過于突出個人，突出當下，嚴重影響合作，影響傳承。這些問題對于特別需要長期艱苦努力攻關和團結奮斗的超精密裝備產業及相關技術發展尤其有破壞作用。
西方發展路徑的影響
市場經濟也是一把“雙刃劍”。大約從20世紀90年代起，發達國家的制造裝備（也包括少數超精密裝備）開始進入中國，結果是在大幅度提升我國制造業水平和能力的同時，對本土的裝備產業和相關技術研發是一種巨大的沖擊——你研發的東西還不如能買到的好，還有必要研發嗎？市場經濟就是要讓企業和研發自生自滅，適者生存。筆者這一代人對當年的往事記憶猶新。只要市場上能買到的政府就不該管，不該有政府支持的研發項目——自1985年科技體制改革到美國特朗普政府第1次發動對華“貿易戰”“科技戰”，這種思想影響了我們大約30年。類似的事情在其他國家也發生過。筆者在科學技術部工作時曾與當時的俄羅斯教育與科學部副部長（曾任蘇聯科學院微電子技術研究所所長）多次討論過，他告訴我截至20世紀80年代初，華約國家的集成電路芯片總產量還大于北約國家，而蘇聯解體的20年后，蘇聯國家的集成電路產業已基本不復存在。這就是所謂的“贏家通吃”——市場經濟條件下高技術研發和高技術產業發展過程中的常見現象。
實際上發達國家的超精密裝備產業及相關技術也都是在各自政府的組織引導和支持下發展起來的。以筆者相對比較熟悉，也是超精密裝備的著名企業荷蘭阿斯麥公司（ASML）、日本尼康公司（Nikon）、日本佳能公司（Canon）等為例，這些企業都曾直接或間接地得到過大量的政府項目和政策支持。特別具有諷刺意味的是，作為超精密裝備的重要組成部分，我國集成電路裝備產業近年來的快速發展恰恰不是因為市場經濟，是美國政府用反市場的政治手段給中國廠商讓出了空間，而中國也用我們的政治體制優勢集中力量抓住了機遇。
事實一次又一次地教育了我們。規則都是人定的，發展道路都是結合各自國情探索出來的，切不可迷信和全套照搬西方的那一套。要說不遵守規則，資本主義國家的代表美國最不遵守規則。
3、下一步工作的建議
要更加重視超精密裝備產業的發展
1、要志存高遠，以培養出我國走到世界前列的第4類企業為大目標，長期關注并堅定支持中國超精密裝備產業的發展
在設定節點目標和階段性任務的基礎上，總體任務的支持期限建議能保證10年以上。
2、應該充分保證發揮好我們的體制優勢和需求優勢
在當下全球環境，尤其是在原有的產業和科技全球化環境發生劇烈變化的情況下，能夠對超精密裝備產業有龐大持久需求和能夠集中優勢資源長期攻關以解決相關系列問題的只有中國。不能從國際市場上得到的要支持，暫時能得到但隨時有“斷供”危機的要支持，當下還沒有“斷供”危機的也要支持。只有這樣才能徹底解決“卡脖子”問題，真正做到自立自強。
為此，還應該集中多方資源，如長期特別國債，建設一批高水平的實驗驗證平臺和演兵場（試驗線、驗證線）。使國內的用戶企業能夠放心使用國產超精密裝備，幫助他們形成全球競爭力；也促使眾多的裝備企業提高水平和能力，向超精密裝備進軍。
要更加強調發展超精密裝備相關的體制機制創新
1、將促使3支隊伍的長期、穩定、密切合作當作推動超精密裝備產業發展的重中之重
企業是技術創新和發展的主體沒有錯，但超精密裝備集成的技術都是新技術、新成果，中國的裝備企業發展時間短，集成資源的能力與國外大企業相比還差得很遠，如果沒有政府的大力組織和支持，把用裝備的和做基礎技術研發的隊伍統一起來形成攻關力量，其發展也會沒有保證，至少也是步履非常艱難的。
2、鼓勵長期資本、耐心資本
近年來我國對長期資本、耐心資本支持科技和產業發展的呼聲日益高漲。超精密裝備產業和相關技術的攻關時間長，不大可能短時間內見到經濟回報，特別需要長期資本、耐心資本的支持。而且特別適合于“投早投小”，使科技人員能夠心無旁騖地堅持攻關。這種隨研發和產業化進展逐步放大力度的支持還特別有助于3支隊伍間增強信任感，促使大家能夠長期堅持共同奮斗。
3、對超精密裝備產業和相關技術發展的評價應特別強調問題導向和目標導向
在項目和政策支持上應杜絕“編故事”“講大話”；必須強調實事求是，強調一步一個腳印地攻難關，對違反者應該有罰則。
進一步加強組織管理
1、建議在每一個超精密裝備產業的研發、生產和相關技術的支持項目中明確業主，落實責任制
要特別強調任務的系統性、關聯性和工作節點、管理到位。由于領域和任務的特殊性，一般的科技項目管理不適應超精密裝備產業發展的管理需求。
2、避免重復投資和重復建設
近年來超精密裝備產業和相關技術成為關注熱點，人們議論頗多，網上也常有炒作，容易成為吸引資源投入的故事題材。但真正有條件發展的地點是不多的，尤其是人才資源、學科技術積累和裝備條件，強行上馬的結果往往是倉促下馬，很難維持。
3、集中力量攻難關
在超精密裝備產業和相關技術方面近年來我國進步很快，有些裝備已經實現產業化并進入生產線實際應用。應該保護相關企業，給他們以更大的發展空間；不要再重復研發、重復生產，形成國內企業的新“內卷”，尤其要避免挖人挖技術的相互拆臺。事實上我們還有許多難關難點沒有攻克，政府和社會資源的支持更應該集中在這些難關難點上。
最后，筆者再次強調，當前世界百年未有之大變局給中國超精密裝備產業及相關技術帶來的機遇遠遠大于困難和挑戰。“堅冰”已經打破，“航道”已經開啟，在以習近平同志為核心的黨中央堅強領導下，我們一定能夠不斷總結經驗，克服困難，一步一步地攀上超精密裝備產業這個中國成為制造業強國征途上的高峰，實現建設社會主義現代化強國的宏偉藍圖。
作者簡介
曹健林 季華實驗室理事長、主任，國家新型顯示技術創新中心理事長。科學技術部原副部長。主要從事EUV多層膜和相關工程光學技術研究。
文章來源
曹健林. 面向“十五五”的超精密裝備：挑戰與機遇. 中國科學院院刊, 2025, 40(5): 835-843.
DOI: 10.3724/j.issn.1000-3045.20250410002.
portant;overflow-wrap: break-word !important;color: rgba(0, 0, 0, 0.9);font-family: \"PingFang SC\", system-ui, -apple-system, BlinkMacSystemFont, \"Helvetica Neue\", \"Hiragino Sans GB\", \"Microsoft YaHei UI\", \"Microsoft YaHei\", Arial, sans-serif;font-size: 17px;font-style: normal;font-variant-ligatures: normal;font-variant-caps: normal;font-weight: 400;letter-spacing: 0.544px;orphans: 2;text-align: justify;text-indent: 0px;text-transform: none;widows: 2;word-spacing: 0px;-webkit-text-stroke-width: 0px;white-space: normal;text-decoration-thickness: initial;text-decoration-style: initial;text-decoration-color: initial;background-color: rgb(255, 255, 255);line-height: 2em;visibility: visible;"},"namespaceURI":"http://www.w3.org/1999/xhtml"},"para",{"tagName":"section","attributes":{"data-role":"outer","data-mp-plugin":"96weixin","style":"-webkit-tap-highlight-color: transparent;margin: 0px;padding: 0px;outline: 0px;max-width: 100%;box-sizing: border-box !important;overflow-wrap: break-word !important;letter-spacing: 0.544px;color: rgb(5, 0, 0);font-family: system-ui, -apple-system, BlinkMacSystemFont, \"Helvetica Neue\", \"PingFang SC\", \"Hiragino Sans GB\", \"Microsoft YaHei UI\", \"Microsoft YaHei\", Arial, sans-serif;font-size: 16px;"},"namespaceURI":"http://www.w3.org/1999/xhtml"},"para",{"tagName":"section","attributes":{"data-role":"paragraph","style":"-webkit-tap-highlight-color: transparent;margin: 0px;padding: 0px;outline: 0px;max-width: 100%;box-sizing: border-box !important;overflow-wrap: break-word !important;"},"namespaceURI":"http://www.w3.org/1999/xhtml"},"para",{"tagName":"h2","attributes":{"style":"-webkit-tap-highlight-color: transparent;margin: 0px;padding: 0px;outline: 0px;font-weight: 400;font-size: 16px;max-width: 100%;box-sizing: border-box !important;overflow-wrap: break-word !important;"},"namespaceURI":"http://www.w3.org/1999/xhtml"},"para",{"tagName":"section","attributes":{"style":"-webkit-tap-highlight-color: transparent;margin: 0px;padding: 0px;outline: 0px;max-width: 100%;box-sizing: border-box !important;overflow-wrap: break-word !important;"},"namespaceURI":"http://www.w3.org/1999/xhtml"},"para",{"tagName":"p","attributes":{"style":"-webkit-tap-highlight-color: transparent;margin: 0px;padding: 0px;outline: 0px;max-width: 100%;box-sizing: border-box !important;overflow-wrap: break-word !important;clear: both;min-height: 1em;letter-spacing: 0.544px;line-height: 1.6em;"},"namespaceURI":"http://www.w3.org/1999/xhtml"}]">inkMacSystemFont, "Helvetica Neue", "Hiragino Sans GB", "Microsoft YaHei UI", "Microsoft YaHei", Arial, sans-serif; line-height: 1.6; letter-spacing: 0.034em; box-sizing: border-box !important; overflow-wrap: break-word !important;" data-pm-slice="0 0 []">免責聲明：上述信息轉自inkMacSystemFont, "Helvetica Neue", "Hiragino Sans GB", "Microsoft YaHei UI", "Microsoft YaHei", Arial, sans-serif; line-height: 1.6; letter-spacing: 0.034em; box-sizing: border-box !important; overflow-wrap: break-word !important;" data-pm-slice="0 0 []">中國科學院院刊，inkMacSystemFont, "Helvetica Neue", "Hiragino Sans GB", "Microsoft YaHei UI", "Microsoft YaHei", Arial, sans-serif; line-height: 1.6; letter-spacing: 0.034em; box-sizing: border-box !important; overflow-wrap: break-word !important;" data-pm-slice="0 0 []">發布/轉載只作交流分享。如有異議請及時聯系，謝謝。
