2022年10月23日上海真空學會真空半導體專業委員會成立儀式在復旦大學國家科技園“復創芯”舉行，近20多家半導體真空設備、零部件的企業成為專委會的首批會員。據悉，真空半導體專委會的成立，是為了更好搭建“產學研政金”合作交流平臺，推動科研與企業、產業、金融更加緊密結合。