溫度量測傳感器在半導體芯片制程中發揮著重要作用。它們被廣泛用于監測和控制半導體芯片制造過程中的溫度，以確保制程的穩定性、可靠性和性能。

2023年7月26-28日，“2023功率與光電半導體器件設計及集成應用論壇”將于西安召開。論壇由第三代半導體產業技術創新戰略聯盟（CASA）指導，西安交通大學、極智半導體產業網（www.ofran.cn）、第三代半導體產業主辦，西安電子科技大學、中國科學院半導體研究所、CASA人才發展委員會、全國半導體應用產教融合（東莞）職業教育集團聯合組織籌辦。

期間，“平行論壇2：光電子器件及應用”上，西安和其光電股份有限公司常務副總經理康利軍做了題為“溫度量測傳感器在半導體芯片制程中的應用”的主題報告，分享了熒光光纖測溫技術、紅外光學測溫技術、光譜解調技術、Wafer測溫技術等技術進展。溫度量測傳感器幾乎貫穿半導體芯片制造所有關鍵工藝。

報告中還詳細分享了石墨純化和多晶硅還原爐紅外測溫、SIC晶體生長工藝和溫度、SIC外延爐測溫、氧化擴散爐紅外測溫、薄膜沉積設備紅外測溫、刻蝕工藝測溫、IC wafer 在光刻和離子注入工藝中的應用測溫等諸多產品和應用狀況及優勢對比。并總結了溫度量測設備在SIC芯片制造工藝過程應用中要求的不同指標。

其中，對于SIC硅單晶生長爐紅外測溫應用，報告指出，采用比色紅外測溫通過小尺寸的窗口，精確測量坩堝、石墨管、隔熱材料的溫度實時溫度，整個的生長過程中對加熱的情況進行準確掌握，保證晶體生長質量，提高成品率和生長效率。PECVD設備（等離子體增強化學氣相沉積法），該設備涉及預熱室預熱、冷卻等溫度控制。因此需要溫度測量傳感器以實現可編程邏輯溫度控制。加熱過程中經常出現的溫度波動影響加熱體的加熱均勻性或造成對被加熱體。溫度監測的方法來提高產品的成品率，降低生產成本。各種測溫技術互補，目前和其光電可以提供半導體芯片制程中溫度量測的整體解決方案。

嘉賓簡介

康利軍 西安和其光電科技股份有限公司常務副總經理，西安文理學院特聘教授，世界軌道交通研究會專家理事。畢業于中科院西安光機所，主要從事溫度量測傳感器的研究及產業化，承擔國家各類課題二十余項，曾獲陜西省科學院技術進步一等獎，發表論文10余篇，專利20余項。2011年聯合創辦西安和其光電，成功推動科技成果轉移轉化，解決了我國若干重要領域的關鍵溫度參數測量技術問題，提升了我國半導體、軌道交通、電力系統、石油化工等領域溫度在線監測的整體技術水平。突破了量測傳感行業發展瓶頸，通過技術和應用創新，滿足各行業用戶需求，形成產業規模。系列量測傳感器產品已應用于國內32個省市和國外30多個國家。

關于和其光電

西安和其光電科技股份有限公司（Optsensor)成立于2011年，是由中國科學院西安光機所孵化的高科技公司，擁有中科院西安光機所50年技術積淀，是全球知名的光學量測傳感儀器品牌商之一，主要針對不同行業不同加工設備提供整套的溫度、壓力、氣體濃度等光學量測傳感儀器的研發、生產、銷售、應用與技術服務。確保設備的穩定高效運行，提升設備設計制造質量和使用效率，為用戶帶來卓越的經濟和安全價值。

系列傳感儀器應用已遍布國內各省市和歐洲非洲等地區，廣泛應用于半導體、電力、軌道交通、鋼鐵冶金、煤炭開采、石油化工、微波醫療、食品安全、科學研究和國防等領域。目前和其光電已經成為國內外多家半導體設備頭部企業的供應商。紅外測溫儀可用于各種長晶、外延、刻蝕、沉積設備中；光纖測溫可用于靜電吸盤的溫度監測；TC Wafer可用于各種晶圓溫場的測試中；IC Wafer可用于各類刻蝕、離子注入設備中。

雖然和其光電紅外測溫產品推出市場時間不久，但基于中科院西安光機所50多年的技術積累，產品一經問世，重復測量最高就能達到0.15%測量值的超高精度，加上快捷便利的國內交付及服務，因此快速獲得國內業界的青睞和采用，藉此為國產替代貢獻力量、展現價值。