2024年11月19-21日，第十屆國際第三代半導體論壇與第二十一屆中國國際半導體照明論壇（SSLCHINA2024）在蘇州盛大召開。作為論壇同期重要配套活動之一，《強芯沙龍·會客廳》首次線下開展，在“平臺建設(shè)與人才培養(yǎng)”主題環(huán)節(jié)中，深圳平湖實驗室科技發(fā)展部副部長丁祥金對“國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺/深圳平湖實驗室”做了詳細介紹。
信息、能源和物質(zhì)生產(chǎn)是人類社會三塊基石。半導體技術(shù)促進信息技術(shù)、物質(zhì)生產(chǎn)發(fā)展和更多能源需求。化合物半導體為社會發(fā)展與能源需求協(xié)調(diào)一致提供解決方案。丁祥金副部長介紹，面對重大需求，2021年3月18日，科技部印發(fā)《關(guān)于支持建設(shè)國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心的函》，明確深圳市政府作為責任主體聯(lián)合江蘇省共同支持國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心建設(shè)，由中國電子科技集團作為建設(shè)單位聯(lián)合相關(guān)單位落實各項建設(shè)任務(wù)。 2021年12月28日，國創(chuàng)中心成立大會上，科技部授予深圳市“國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心”和“國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心（深圳）”兩塊牌子。
深圳平湖實驗室概況：2022年8月深圳市成立深圳平湖實驗室并作為主體運營，在深圳市龍崗區(qū)羅山科技園建設(shè)一流的化合物功率半導體研發(fā)、中試、工藝、檢測平臺。建設(shè)深圳綜合平臺是深圳市政府深入貫徹落實習近平總書記重要指示和重要部署的戰(zhàn)略舉措。深圳平湖實驗室占地面積130畝，100級潔凈間面積9500平米，擁有業(yè)界領(lǐng)先的寬禁帶功率半導體基礎(chǔ)設(shè)施，國際先進設(shè)備和國產(chǎn)優(yōu)秀設(shè)備380余臺套。深圳綜合平臺人力規(guī)模約350人，匯集海內(nèi)外頂尖人才，采取開放共享的運行模式，建立由合作伙伴組成的生態(tài)系統(tǒng)，打造面向全國的開放、公共、共享的科研平臺、中試平臺和分析檢測中心，共同構(gòu)建可持續(xù)發(fā)展的未來。
產(chǎn)業(yè)定位：致力于功率芯片領(lǐng)先技術(shù)開發(fā)及產(chǎn)業(yè)能力提升。產(chǎn)業(yè)鏈對技術(shù)可用性期望，逐層向下傳導。芯片是應(yīng)用鏈對底層功能和產(chǎn)品性能期望的直接承載者。更可靠的底層產(chǎn)品、更能全面技術(shù)、更詳實數(shù)據(jù)支持服務(wù)。芯片制造是技術(shù)要素的整合者，是應(yīng)用性能的承載者和底層改進的拉動者。
愿景、價值觀與使命：追求在SiC和GaN等第三代半導體領(lǐng)域及面向第四代半導體產(chǎn)出世界級成果，培養(yǎng)世界級人才。落實國產(chǎn)化設(shè)備驗證、材料驗證，最終打造全流程國產(chǎn)化產(chǎn)線并持續(xù)牽引、推動國產(chǎn)設(shè)備和材料的進步和趕超。融合高等院校、科研院所、行業(yè)龍頭企業(yè)的科研基礎(chǔ)和技術(shù)創(chuàng)新力量，以市場需求為牽引，突破第三代半導體產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)的共性難題和關(guān)鍵技術(shù)，不斷驅(qū)動創(chuàng)新，打通第三代半導體全產(chǎn)業(yè)鏈，并在下一代半導體產(chǎn)出創(chuàng)新成果。
丁祥金副部長表示，目前深圳平湖實驗室建有全國首條8吋SiC/GaN中試線的功率半導體開放共享平臺。覆蓋第三代功率半導體襯底、外延、器件制備、封裝測試、失效分析、可靠性驗證全鏈條；建成先進的8inch工藝平臺，具備向下兼容能力。支撐15-1200V GaN HEMT及1.2kV-15kV SiC MOSFET器件開發(fā)；對標國際一線Fab設(shè)備配置和專業(yè)團隊，具備研發(fā)、中試與產(chǎn)業(yè)化能力。布局氧化鎵、金剛石、氮化鋁、銻化物及異質(zhì)集成材料與器件的研究。深圳綜合平臺具備碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)及超寬禁帶功率材料與器件研發(fā)、集成設(shè)計及試制能力。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋新能源汽車與軌道交通電驅(qū)動、新型電力系統(tǒng)、新一代通信和數(shù)據(jù)中心基礎(chǔ)設(shè)施供電、消費類電子和通用電源、抗輻照高功率密度電源裝置等特種裝備及其它應(yīng)用。
報告中，丁祥金副部長還對深圳綜合平臺的研究方向、工藝平臺能力、設(shè)計與仿真能力、EDA國產(chǎn)化催熟與驗證、分析檢測能力、人才團隊、運營模式等方面做了詳細介紹。他表示，目前實驗室擁有自主可控仿真設(shè)計平臺, 協(xié)同仿真-設(shè)計-制造-封裝-可靠性多維度聯(lián)合。支撐半導體的建模、提參、TCAD仿真、PDK的建立、良率預(yù)測、可靠性分析。打造第三代半導體工程服務(wù)平臺，提供復(fù)雜的計算機仿真、驗證、培訓、成果轉(zhuǎn)化服務(wù)。與國產(chǎn)EDA廠商緊密合作，實現(xiàn)國產(chǎn)EDA工具快速驗證迭代。搭建產(chǎn)學研緊密合作的第三代半導體國產(chǎn)EDA公共服務(wù)平臺，推動國內(nèi)功率半導體產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展進步。具備完善的、頂尖的第三代功率器件封裝和測試表征設(shè)備資源，圍繞構(gòu)建第三代半導體產(chǎn)業(yè)引領(lǐng)技術(shù)和關(guān)鍵共性技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新格局，擁有先進功率器件分析檢測所需的全套設(shè)備。
目前深圳綜合平臺人力規(guī)模約350人，首席團隊來自國內(nèi)外第三代/第四代半導體頂尖企業(yè)和科研機構(gòu)， 其中70%具有海外工作經(jīng)驗。研發(fā)團隊博士占比超30%打造勇于創(chuàng)新、敢于試錯的研究型隊伍。資深工程師（工作經(jīng)驗8年以上）占比超50%，來自國內(nèi)外知名Fab廠。通過產(chǎn)學研深入?yún)f(xié)同，與國內(nèi)重點高校建立創(chuàng)新人才培養(yǎng)機制。共同確立新研究課題、共同攻克關(guān)鍵技術(shù)、工程碩博聯(lián)合培養(yǎng)。堅持在國家重大專項布局、基礎(chǔ)研究、人才培養(yǎng)、專項創(chuàng)新中心、產(chǎn)業(yè)生態(tài)建設(shè)等在生態(tài)伙伴的協(xié)同下積極落地，共創(chuàng)寬禁帶功率半導體產(chǎn)業(yè)生態(tài)。
平臺建設(shè)與人才培養(yǎng)主題分享嘉賓合影
